CN105180980A 一种对称的全光纤法珀传感器及其制作方法 （南京信息工程大学）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(43)申请公

(10)申请公布号CN105180980A布日2015.12.23

(21)申请号201510660838.8

(22)申请日2015.10.14

(71)申请人南京信息工程大学

地址210044江苏省南京市浦口区宁六路

219号

(72)发明人葛益娴王婷婷张加宏常建华

(74)专利代理机构南京纵横知识产权代理有限公司32224

代理人母秋松董建林

(51)Int.CI.

GO1D5/26(2006.01)

权利要求书1页说明书3页附图3页

(54)发明名称

一种对称的全光纤法珀传感器及其制作方法

(57)摘要

CN105180980A本发明公开了一种对称的全光纤法珀传感器，第一单模光纤与第一多模光纤相熔接，所述第二单模光纤与第二多模光纤相熔接；所述第一多模光纤与第二多模光纤末端均设置有凹腔；所述第一多模光纤的凹腔与第二多模光纤的凹腔相对接形成FP腔。本发明提供的一种对称的全光纤法珀传感器及其制作方法，结构小巧、制作简单、成本低廉，该光纤传感器可利用化学腐蚀方法得到长的法珀腔，并且结构对称，条纹精细度低，受温

CN105180980A

CN105180980A权利要求书1/1页

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1.一种对称的全光纤法珀传感器，包括单模光纤、多模光纤，其特征在于：所述单模光纤包括第一单模光纤、第二单模光纤，所述多模光纤包括第一多模光纤、第二多模光纤；所述第一单模光纤与第一多模光纤相熔接，所述第二单模光纤与第二多模光纤相熔接；所述第一多模光纤与第二多模光纤末端均设置有凹腔；所述第一多模光纤的凹腔与第二多模光纤的凹腔相对接形成FP腔。

2.根据权利要求1所述的一种对称的全光纤法珀传感器及其制作方法，其特征在于：所述凹腔长度设置为60微米。

3.根据权利要求1所述的一种对称的全光纤法珀传感器及其制作方法，其特征在于：所述凹腔端面设置为圆形结构，端面直径设置为62微米。

4.根据权利要求1所述的一种对称的全光纤法珀传感器及其制作方法，其特征在于：所述第一单模光纤、第二单模光纤采用SMF-28单模光纤。

5.根据权利要求1所述的一种对称的全光纤法珀传感器及其制作方法，其特征在于：所述第一多模光纤、第二多模光纤采用GIF625渐变折射率多模光纤。

6.一种对称的全光纤法珀传感器的制作方法，其特征在于：包括如下步骤：

步骤一：将第一单模光纤与第一多模光纤利用光纤熔接机进行熔接，并利用光纤切割刀在靠近熔接处切割第一多模光纤，所述第一多模光纤长度设置为150微米；

步骤二：利用化学腐蚀方法腐蚀第一多模光纤端面，得到凹腔；

步骤三：将第二单模光纤与第二多模光纤利用光纤熔接机进行熔接，并利用光纤切割刀在靠近熔接处切割第二多模光纤，所述第二多模光纤长度设置为150微米；

步骤四：利用化学腐蚀方法腐蚀第二多模光纤端面，得到凹腔；

步骤五：把第一多模光纤、第二多模光纤对接连接在一起，两部分凹腔形成FP腔，作为FP干涉的两个反射面。

7.根据权利要求6所述的一种对称的全光纤法珀传感器的制作方法，其特征在于：所述凹腔采用40%的HF缓冲溶液，温度25℃,不加搅拌进行腐蚀，通过腐蚀系统进行监控，腐蚀速率为12微米/min。

8.根据权利要求6所述的一种对称的全光纤法珀传感器的制作方法，其特征在于：所述的第一多模光纤端面凹腔与第二多模光纤端面凹腔采用光纤熔接机的手动熔接，光纤熔接机放电强度50mA、预熔时间170ms,放电时间1000ms。

CN105180980A说明书1/3页

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一种对称的全光纤法珀传感器及其制作方法

技术领域

[0001]本发明涉及一种对称的全光纤法珀传感器及其制作方法，属于光纤传感技术领域。

背景技术

[0002]光纤法珀传感器与传统的各类传感器相比，具有高灵敏度、抗电磁干扰、耐腐蚀、防爆及不干扰被测场等特点，可以广泛应用于工业、农业、医学、国防、航天航海等领域，可测量温度、压力、流量、位移、振动、加速度、声场、电流、电压等多种物理量。比如深井下环境中的动态温度、压力等物理量；桥梁或大型建筑结构安全监测系统中动态应变、温度、加速度等物理量。

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