CN119517824A 一种激光干涉终点检测的自动对准方法 （上海车仪田科技有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119517824A

(43)申请公布日2025.02.25

(21)申请号202510072640.1

(22)申请日2025.01.17

(71)申请人上海车仪田科技有限公司

地址201114上海市闵行区新骏环路138号

2幢102、202室

(72)发明人张南南张黎明钟辉郭军涛唐凯黄兴玉

(74)专利代理机构上海恒锐佳知识产权代理事务所(普通合伙)31286

专利代理师黄海霞

(51)Int.Cl.

H01L21/68(2006.01)

G06T7/70(2017.01)

G06T3/60(2024.01)

H01L21/66(2006.01)

权利要求书2页说明书11页附图9页

(54)发明名称

一种激光干涉终点检测的自动对准方法

(57)摘要

CN119517824A本发明公开了一种激光干涉终点检测的自动对准方法，包括以下步骤：将晶圆表面照亮，将激光光束照射至晶圆表面；接收所述晶圆表面被照亮区域形成的输出图像S1，所述输出图像S1包含晶圆上目标图案形成的目标图像Sg及晶圆反射的激光光斑图像L；计算所述输出图像S1中目标图像Sg的几何中心坐标和所述激光光斑图像L的质心坐标，得到两坐标对应的像素距离；根据像素距离，控制所述激光光