CN119828569A 一种efem设备的控制方法、装置、存储介质及电子设备 （苏州冠韵威电子技术有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119828569A

(43)申请公布日2025.04.15

(21)申请号202510304359.6

(22)申请日2025.03.14

(71)申请人苏州冠韵威电子技术有限公司

地址215000江苏省苏州市工业园区宏业

路158号联发工业园8号厂房

(72)发明人朱飞杜杰李亚伦

(74)专利代理机构南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙)32256

专利代理师李志

(51)Int.Cl.

G05B19/042(2006.01)

权利要求书2页说明书14页附图3页

(54)发明名称

一种EFEM设备的控制方法、装置、存储介质

及电子设备

(57)摘要

CN119828569A本申请提供了一种EFEM设备的控制方法、装置、存储介质及电子设备，涉及电子技术领域。EFEM设备的控制方法包括：基于第一系统响应获得第一指令，所述第一指令所指示的执行流程涉及对EFEM设备的第一控制权限；获取所述EFEM设备的可控时序，所述可控时序表征所述EFEM设备所处工艺阶段和空间状态下可执行远程控制的时间窗口；基于所述可控时序调整所述第一指令为第二指令，所述第二指令的第二控制权限小于或等于所述第一控制权限；基于第二系统响应所述第二指令，所述第一系统的控制级别高于所述第二系统