GB_T 11446.9-2013 中文版 电子级水测试方法 微粒仪器测定.docxVIP

GB_T11446.9-2013中文版电子级水测试方法微粒仪器测定

前言

在集成电路、平板显示、湿电子化学品生产工艺当中，水中固体微粒是造成晶圆表面缺陷、光刻不良、产品良率下降的重要诱因。行业在电子级水管控中，电阻率、痕量金属、总有机碳、细菌指标经常被重点关注，但微粒属于极易受取样、管路、环境扰动的参数，同样一套纯水系统，离线取样与在线检测往往得到差异巨大的数据。电子级水的微粒含量极低，传统滤膜显微镜计数效率低下，检出能力不足，激光液体颗粒计数器成为行业主流检测手段。过去国内缺少统一标准化操作规范，不同工厂、第三方机构操作流程不一致，造成检测结果不具备可比性，无法用于系统验收与仲裁判定。

GB/T11446.9-2013《电子级水中微粒的仪器测试方法》2013-12-31发布，2014-08-15正式实施，替代旧版GB/T11446.9-1997，属于GB/T11446电子级水标准体系的第九部分，归口中国电子技术标准化研究院，和细菌总数、总有机碳、痕量金属、阴离子等测试方法共同构成电子级水完整检验矩阵。标准规定激光光散射颗粒计数器开展电子级水微粒检测的整套方法，包含术语定义、检测原理、仪器条件、取样流程、干扰因素、结果计算，并且引用GB/T11446.3-2013电子级水测试方法通则作为通用前置约束，专门增加独立章节阐述各类干扰来源，解决现场检测数据波动大的现实痛