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第4期 浅谈如何利用电镜对试样形貌进行分析 ·43 ·
浅谈如何利用 电镜对试样形貌进行分析
石其禄
[摘 要]本文论述了利用扫描电子显微镜对样品进行微观形貌分析的重要性，在对试样的要求以
及试样的制备进行说明的基础上 ，重点对观察磁性材料时应注意的问题进行 了探讨 。
[关键词]扫描电镜；形貌分析；退磁 ；磁性材料 。
Discussion onHow toAnalyzeSamples
· M orphologybyScanningElectronM icroscope
SHIQi——lu
Abstract： Thearticleisdiscussedthesignificanceofthesamplesmorphologynaalysiswithscanningelcetron
microscope．Becausethesampleofrequirementsnadpreparationareintroducedon thebaseforobservationofthe
magneticmaterialsaleemphaticallysolved．
Keywords： scanningelectronmicroscope；morphologyanalysis；demagnetization；magneticmaterial
1 引言
2 各种试样的制备
扫描电子显微镜利用细聚焦 电子束在试样表面
2．1 对试样的要求
逐点扫描，与样品相互作用产生各种物理信号，这些 ·
试样可以是块状或粉末颗粒，在真空中能保
信号经检测器接收、放大并转换成调制信号，最后在
持稳定，含有水分的试样应先烘干除去水分，或使用
荧光屏上显示反映样 品表面各种特征的图像 。扫描
干燥设备进行处理 。
电镜具有景深大、图像立体感强、放大倍数范围大、 ·
表面受到污染的试样 ，要在不破坏试样表面
连续可调、分辨率高、样品制备简单等特点，是进行
结构的前提下进行适当清洗 ，然后烘干。
材料表面形貌研究的有效分析工具。 ·
新断开的断口或断面，一般不需要进行处理，
扫描电镜图像表面形貌分析几乎可以用于显示
以免破坏断口或表面的结构状态。
任何材料表面的超微信息，比如利用试样或构件断
有些试样的表面、断口需要进行适当的侵蚀 ，才
口的二次电子像所显示的表面形貌特征，可以获得
能暴露某些结构细节，则在侵蚀后应将表面或断口
有关裂纹的起源、裂纹扩展的途径 以及断裂方式等
清洗干净，然后烘干。
信息。根据断口的微观形貌特征可以分析裂纹萌生
· 对磁性试样要预先去磁，以免观察时电子束
的原因、裂纹的扩展途径以及断裂机制。其应用已
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