高次非球面微晶玻璃元件的抛光工艺研究.pdfVIP

第35卷第4期 长春理工大学学报 (自然科学版 ) V01．35 No．4 2012年12月 JournalofChangchunUniversityofScienceandTechnology (NaturalScienceEditionj Dec．20l2 高次非球面微晶玻璃元件的抛光工艺研究 谢影 ，付秀华 ，贾宗合 ， 马放 ，唐昊龙 ，田野 (1．长春理T大学 光电T程学院，长春 130022；2．东莞光阵显示器制品有限公司，东莞 523000) 摘 要 ：基于德 国 ()ptoTechASM100CNC铣磨机和OptoTechASP200CNC-B抛光机组成的非球面数控加工 中心，研究 了口径 1lOmm高次非球面微晶玻璃透镜的铣磨 、抛光工艺以及相关工艺参数，同时采用英国TAYI0RHOBSON轮廓 仪，在抛光中对其面形误差进行多次反馈补偿 ，使微晶玻璃零件表面的面形精度逐步收敛，最终获得高次非球面微晶玻璃 元件表面面形R， (PV值)为O．62gm；表面粗糙度为 0．01gm；表面光洁度为三级。 关键词：非球面；微晶玻璃；反馈抛光；轮廓仪 中图分类号：TG580．6 文献标识码：A 文章编号：1672-9870 (2012)04 003404 ResearchonthePolishingTechnologyofHigh___o‘rder AsphericZerodurLens XIE Ying ，FU Xiuhua ，JIA Zonghe ，MA Fang ，TANG Haolong ，TIAN Ye (1．CollegeofOptoelectronicEngineering，ChangchunUniversityofScienceandTechnology，Changchun130022； 2．Dongguanopticalarraydisplayproductscompany．dongguan523000) Abstract：Based on asphericcomputercontrolled manufacturing center (Germany OptoTech ASM 100CNC milling nla— chineand OptoTech ASP200CNC—B Polishingmachine)，asfor ll0mm high—orderasphericzerodurlens，researched the grinding processing，polishing processing and the related processing parameters．And using the United Kingdom IAYIOR H()BSON profilometerformaking anumber offeedback compensation to surface shape errorduring polish— ing，SOthatthesurfaceshapeaccuracycanbegradually diminished，SOthatthesurfaceshapeaccuracycanbegradual ly diminished．It’S showed thatthefinalsurfacefigureofthe lens isO．62gm；and the surfaceroughnessis ()．)(1um．the surfaceglassfinish isIII． Keywords：aspheric；zerodur；correctivepolishing；profilometer 非球面加工应根据T件材料、形状 、精度和 口径 玻璃。它还有许多宝贵的特殊性能，如机械强度高， 等冈素的不同，采用不同的加工方法。如对于铜、铝 硬度及耐磨性高，重量轻，热稳定性好，介电常数高， 等软质材料，可采用单点金刚石切削进行超精密加 在高频高温下介电损失系数小等。随着光学 、光电 工，对于玻璃、陶瓷等硬脆材料，则主要是通过超精 子技术的发展，微晶玻璃已在很多领域得到了广泛 密磨削、研磨和抛光进行加工n 。