电容式湿度传感器的感湿机理复合模型.pdfVIP

维普资讯 第 22卷 第 2期 大 学 物 理 实 验 Vo1．22No．2 2008年 6月出版 PHYSICALEXPERIMENT OFCOL工正GE Jun． 2008 文章编号：1007—2934(2008)02—0008—05 电容式湿度传感器的感湿机理复合模型 王珍媛 顾铮 (上海理工大学 ，上海 ，200093) 摘 要 本文针对半导体湿敏陶瓷材料提出了一种新颖实用的复合新模型，给出了该 模型的理论方程和感湿曲线 ，通过计算机理论模拟与实验结果的对 比，证明了该复合模 型的合理性 ，为今后的湿敏传感器研究奠定了基础。 关键词 感湿机理 ；复合模型 ；有效介 电常数 中图分类号：TP212．14 文献标识码 ：A l 引言 湿度是影响人类生活条件的基本因素之一。随着信息产业的发展及工业化的进步， 、 湿度不仅仅直接或间接影响着人类基本生活条件，还表现在对工农业、生物制品、医药卫 生、科学研究、国防建设等方面的影响。目前，国内外在湿度传感器研发领域取得 了长足 进步。感湿机理在湿度传感器的研究中一直处于十分重要的地位，尤其是从二十世纪七、 八十年代人们就热衷于湿度传感器感湿机理的研究。通过深入探讨传感器感湿机理，可 以帮助人们 了解湿度传感器某些缺点产生的原因，例如湿度传感器的湿滞和漂移现象，长 期稳定性不好、耐高湿环境 以及抗干扰能力差等，从而为湿敏材料的选择和湿敏元件 的结 构设计和优化等提供理论依据，改善湿敏元件的湿敏特性和稳定性。 目前 ，对于电阻式湿度传感器的感湿机理，人们通过 量的讨论研究已经比较清晰， 虽然还没有定论，但 已经有 了各种学说 。但是，对于电容型湿敏元件 ，人们就较少涉及 ，对 其微观机制也没有详细的讨论n。本文将针对电容型湿度传感器的感湿机理进行全面的 讨论，其中包括理论模型的建立、感湿机理的理论推导和数据分析等。将Maxwell～Garnett 理论和有效介质理论的思想运用于感湿机理，提出了一种新颖实用的复合新模型，计算出 复合体系的有效介电常数 ，给出了该模型的理论方程和感湿曲线，通过计算机理论模拟与 实验结果的对比，证明了该复合模型的合理性并且分析电容式湿度传感器感湿 曲线和性 能参数等。 2 理论模型的建立 国家 自然科学基金资助项 目、教育部科学技术研究重点项 目、上海市教育委员会科研项 目 (07ZZ87)及上海市重点学科建设项 目(10501) 收稿 日期 ：2008—02—03 — 8 一 维普资讯 电容式湿度传感器是将被测量的物理量 “湿度”的变化转换成电容量变化的一种传感 器。根据 电容器参数变化的特性，电容式传感器可分为变极距型、变面积型和变介 电常数 型3种。文 中采用氧化钽 (ira0)作为主要的湿敏材料，使用 “溶胶一凝胶”工艺制成 ira：0 系薄膜传感器。薄膜湿度传感器的感湿特征量往往都采用电容量，由于纯水的介 电常数比较大(室温时约为 8O)，当环境相对湿度增加时，湿敏薄膜材料所吸附的水分子 增多，引起 了湿敏材料 的有效介 电常数产生 了相应的较为明显的变化 ，因而使电容量增 大。所以，电容型湿度传感器通常采厣变介电常数的结构，根据电容量的变化可测得相对 湿度 。 在湿度环境下，将湿敏半导体陶瓷材料看作是材料晶粒、水膜和空气三部分组成，其 中将 晶粒采用较接近于微观实际的椭球结构 (如图t所示)。 ． 闰_【电容型传感器感湿机理微观结构 首先，构建一个 由水膜、晶粒和空气三组分的晶粒复合体模型，如图2所示。吸附有 水分子的椭球晶粒存在于空气 中，即为包 围有水膜 的陶瓷晶粒浸于空气介质中，将水膜和 晶粒看作一个复合体。然后，运