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维普资讯
2008年 第27卷第 6期 ． 传感器与微系统(TransducerandMicrosystemTechnologies) 53
电容式液位传感器的有限元计算与误差分析
隋修武 ，谢 望 ，樊玉铭 ，张国雄 ，尹 伟
(1．天津工业大学 机械电子学院 天津市现代机电装备技术重点研究室，天津 300160；
2．天津大学 精密测试技术及仪器国家重点实验室，天津300072)
摘 要：采用有限元分析的方法 ，建立了双简形电容式液位测量传感器的数学模型。分析了传感器的电
容值与结构参数、被测介质的介电常数、定位销个数的关系，总结出电容量随液位高度变化的规律。分析
了内外简轴线平行度与同轴度偏差。标定实验表明：传感器在0-500mm范围的测量精度为0．2mill。
关键词 ：电容式传感器；液位传感器；双筒形电容；有限元分析；数学模型
中图分类号：TP212．1 文献标识码 ：A 文章编号：1000--9787(2008)06—0o53一o3
1n。in‘i-t·eel●em ent·ca_lcu_lat·iO‘n and1error anal’ysis‘0n
capacitanceliquid levelsensor
SUIXiu—WU ，XIE Wang ，FAN Yu—ming2 ZHANG Guo—xiong2 YIN Wei
， ，
(1．Tiaai~nkeyLaboratoryofAdvancedMechatronicsEquipmentTechnology，SchoolofMachineryandElectron，
~aanjlnPolytechnicUniversity，Tianjin300160，China；
2．StateKeyLaboratoryofPrecisionMeasuringTechnoloyg ＆Instrument，ThmjinUniversity，
3aanj~n300072，China) ．
Abstract：Themathmodelofthedoublecylinderscapacitnaceliquidlevelsensorissetupbythefiniteelement
method．Therelationbetweenthecapacitna cenaditssize，therelativepermittivity，locatedpinsandliuq idlevelis
presented．Theresulterrorcaused by theparallelism，concentricity nad the circuitisanalysed．Calibration
experimentshows，theaccuracyintherangeof0 ～500mm is0．2mm．
Keywords：capacitna cesensor；liuq idlevelsensor；doublecylinderscapacitance；finiteelementnaalysis；math
mode】
0 引 言 取了相应的措施。
电容式液位测量传感器具有结构简单、不需传动机构、 1 电容式液位传感器的工作原理
动态响应好、灵敏度高、分辨力强、使用维护方便 、能在恶劣
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