基于SIMP方法微电容加速度计结构固有频率拓扑优化.pdfVIP

第 11卷 第29期 2011年 10月 科 学 技 术 与 工 程 Vo1．1l No．29 0ct．2011 l671— 1815(2011)29—7086—06 ScienceTechnologyandEngineering @ 2011 Sci．Tech．Engng． 仪表技术 基于 SIMP方法微电容加速度计结构 固有频率拓扑优化 邹春江 左孔天 向 宇 谢勇君 宋 洁 (广西工学院汽车工程系 ，柳州 545006；暨南大学电气 自动化研究所 ，珠海 519070) 摘 要 基于连续体结构拓扑优化的SIMP材料插值模型，以叉指式微电容加速度计弹性梁和质量块的一阶固有频率最大化 为 目标函数，以体积比作为约束条件，建立了弹性梁和质量块的拓扑优化模型。采用优化准则算法进行迭代求解计算。获得 了满足不同体积约束并使一阶固有频率最大的微电容加速度计弹性梁和质量块的多种拓扑优化结构，其中28％体积比约束 下的拓扑优化结构与其初始结构相比，一阶固有频率提高了3330Hz，提高比例达46．4％。计算结果表明通过构建的拓扑优 化模型及优化求解方法可以较好地解决微加速度计频响范围过窄的问题。 关键词 微电容加速度计 拓扑优化 固有频率 SIMP密度法 中图法分类号 TH824．4； 文献标志码 A 微加速度计是一种典型的微机电系统产品，按 的牢靠性和被测信号的不失真，有必要就提高微加 敏感原理的不同可 以分为：电容式、压阻式、压电式 速度计结构固有频率的方法进行研究。 和隧道效应式，由于它的高灵敏度、好的直流响应、 结构拓扑优化，是一种创新设计方法和手段， 低噪声、低漂移、对温度的敏感性低、低能耗、结构 处于产品的概念设计阶段，采用拓扑优化方法进行 简单的优点，使其有着广泛的应用前景，其中电容 结构设计，能够显著降低研发成本，提升产品性能。 式微加速度计应用最为广泛 J。 目前这类传感器 谢勇君等 基于SIMP材料插值方法，建立了热固 的测量范围一般 0．1g—50g，频响范 围为 (0— 耦合场结构的有限元控制方程，研究了热固耦合场 1)kHz，测量精度为0．1％--1．O％，频响范围过窄、 的敏度分析问题，建立了叉指式微电容加速度计质 动态特性欠佳是现有 电容式微加速度传感器的一 量块结构的热固耦合拓扑优化模型；刘齐茂等 采 个重要 问题，更有甚者，在第一次之后的测试 中根 用均匀化方法，以电容式微加速度计微结构的第一 本得不到所需数据。由于结构本身的原因，它的固 阶谐振频率为 目标函数建立了微结构的拓扑优化 有频率一般只有几千赫兹，因而工作频带通常还不 模型，对叉指式微加速度传感器微结构进行了拓扑 到 lkHz，严重制约了它的应用范围。扩大带宽最根 优化设计；左孔天等 用拓扑优化方法进行微型柔 本的办法是提高固有频率，这就需要提高弹性元件 性机构的设计，研究了微型柔性机构拓扑优化设计 的刚度或减小惯性质量，为了保证微加速度计结构 中的几个关键问题，提出了一种综合求解策略，在 柔性机构设计中采用了非线性求解技术和伴随矩 阵敏度分析技术，并在算法上进行 了实现，设计出 2011年7月 17日收到 广东省 自然科学基金博士研究启动 项 目(9451063201002281)、广西制造系统与先进制造技术重点 了几种典型的微型柔性机构器件。把连续体结构 实验室(开放基金)项 目(桂科能0842006_J034一K)资助 拓扑优化方法用于微加速度计结构拓扑设计，在概 第一作者简介 邹春江 (1981一)，男，福建龙岩人，硕士，研究方 念设计阶段就综合考虑各性能指标及可制造性的 向：微电容式