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机械设计 与制造 第 l0期
4 Machinery Design ＆ Manufacture 2011年 1O月
文章编号：lOO1—3997(2011)10—0004—03
基于高精度运动平台的误差模型构建与分析 术
林海波 杨 国哲
(’台州职业技术学院 模具工程研究所，台州 318000)
(沈阳工业大学 机械工程学院，沈阳 l10023)
ErrormodeJconstructionandanalysisbasedonultraprecisionplatform
LIN Hai—bo．YANG Guo—zhe
(MoldDesignResearchInstitute，TaizhouVocationalTechnicalCollege，Taizhou318000，China)
(SchoolofMechanicalEngineering，ShenyangUniversityofTechnology，Shenyang110023，China)
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【摘 要】机床误差补偿技术是提高机床精度的一种有效的方法。设计了一个用于微细电火花加
工的三维精密运动平台设计，完成了平台搭建工作，根据三维大行程运动平台的几何特性，分析了机床
存在的空间定位误差，运用齐次矩阵变换，完成了三维微细电火花加工运动平台的误差补偿理论分析，
建立了相应的误差模型。计算机软、硬件技术的发展，误差补偿技术因其性价比高、可靠性好 日益受到
重视，通过合理的补偿，可使被加工零件的精度得到甚至超过数控加工机床本身的精度。
关键词：误差分析；高精度运动平台；运动控制；误差补偿
【Abstract】Theerrorcompensationformachinetoolsisarteffectivemethodtoimprovethemachine
toolprecision．Aimedatthegeometric atureofthethreedimensions，a3Dprecsiionmotionplatformfor
minutenesselectricsparkformingisdesignedtofinishthebuildingoftheplatform．Thenthespatializationi
errorofmachinetoolsisanalyzed，naderr0rcompensationtheoreticalnaalysisformotionplatformof 3D 《
minutenesselectricaldischragemachiningisfinished。 wellastherelativecompensationmodel builtby
applyinghomogeneousmatrixtransformation．Withthedevelopmentofsoftwraenadhradwraeofcomputer；
technology，moreandmoreattentionforerrorcompensationispaidforitshighcostperformnacenadrelia一；
bility,throughwhichmachinedworkpieceprecisionobtainedevenexceedsthatofthemachinetools．
Keywords：Erroranalysis；Ultraprecisionplatform；Kineticcontrol；Errorcompensation ：
中图分类号：TH12，TH115 文献标识码 ：A
1引言
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