Parylene敷形涂层绝缘性能研究.pdfVIP

第34卷 第 12期 现 代 雷 达 Vo1．34 No．12 2012年 12月 ModernRadar Dec．2012 · 工艺技术 · 中图分类号：V261．935 文献标志码：A 文章编号：1004—7859{2012)12—0082—03 Parylene敷形涂层绝缘性能研究 吴礼群，陈 旭，梁元军，杨军华 (南京电子技术研究所 ， 南京 210039) 摘要：聚对二甲苯(Parylene)是一种性能优异的敷形涂层材料，在航空、航天、电子领域的应用前景非常广泛。文中介绍了 Parylene涂层绝缘性能的试验方法和试验过程，使用真空气相沉积技术制备了ParyleneC、ParyleneN、ParyleneD涂层，对3 种涂层不同厚度情况下的绝缘性能进行 了比较，研究了涂层在常态下和温度冲击、湿热试验后的绝缘性能变化情况。为 Parylene涂层在电子组件防护中的应用提供了技术支撑。 关键词：聚对二甲苯；敷形涂层；气相沉积；绝缘性能 A StudyontheInsulatedPropertiesofParyleneConformalCoating WULi．qun．CHENXu，LIANGYuan-jun，YANGJun—hua (NanjingResearchInstituteofElectronicsTechnology， Nanjing210039，China) Abstract：Paryleneisaconformalcoatingmaterialbeatingexcellentperformance，widely used in aviation，aerospace，electronic field．Thispaperdesctibesthereserachprocedureandresultaboutinsulatingpropertyofdifferentparylenecoating．Threekindsof coatingasparyleneC，paryleneN，andparyleneDwithdifferentthicknesswereprepraedbyvacuum vapordepositiontechnique， whoseinsulatingperfomr anceiscomparedlater．Besides，insulatingperfomr ancechangeofthethreekindsofcoatingundernomr al condition，temperatureshock，anddamp-heattestisstudied．A technicalsuppo~fortheapplicationofparylenecoatinginelec— troniccomponentprotectionisprovidedinthispaper． Keywords：parylene；confomr al coating；vaporphasedeposit；insulatedproperties 0 引 言 1 试验方法及过程 聚对二甲苯(Parylene)敷形涂层具有涂层厚度均 1．1 试验方法 匀、致密无针孔、透明无应力、不含助剂、不损伤工件、 试样材料由GF型环氧玻璃布层压板制成，单面 电绝缘性和防护性好等优异性能，是 目前所知高频元 覆盖70 m铜箔，厚度 1．5mm。试样制作步骤如下： 件、高密度组件、高绝缘组件最有效的防护涂层材料。 按图1蚀刻出印制电路图形，先将图形表面进行化学 国外已广泛应用于航空、航天、军事 电子、微电子、半导 镀银处理，试样彻底清洗干净后，在干净的空气中干 体、医疗、文物保护等领域 J。