冷氢化工艺中四氯化硅汽化方式的比较.pdfVIP

第40卷 第 12期 化 学 工 程 Vo1．40 No．12 2012年 l2月 CHEMICALENGINEERING(CHINA) Dec． 2012 冷氢化工艺中四氯化硅汽化方式的比较 姚又省 ，刘继三 ，陈维平 (华陆工程科技有限责任公司，陕西 西安 710065) 摘要 ：对多晶硅生产中的冷氢化工艺做了简单介绍，重点介绍了冷氢化工艺中四氯化硅的4种汽化方式，包括电加 热汽化、导热油汽化、直接混合汽化和强制混合汽化 ，并对这4种汽化方式的优缺点进行 了比较，为多晶硅生产工 厂和多晶硅工艺设计提供参考。 关键词：多晶硅；冷氢化；四氯化硅；汽化 中图分类号：TQ055．89 文献标识码：A 文章编号：1005-9954(2012)12-0075-04 DoI：10．3969／j．issn．1005—9954．2012．12．018 Comparativestudyofsilicon tetrachloridevaporization inhydr0genati0nprocess YAO You-xing，LIU Ji-san，CHEN W ei-ping (HualuEngineeringTechnologyCo．，Ltd．，Xian710065，ShaanxiProvince，China) Abstract：Thehydrogenationintheprocessofpolysilieonproductionwasbrieflyintroduced，andfourvaporization methodsofsilicon tetrachloridewere mainly illustrated，includingelectricalheatingvaporization，thermaloil vaporization，unforcedmixturevaporization and forcedmixturevaporization．Theadvantagesand disadvantagesof thesemethodswerecontrasted，whichcanprovidereferenceforpolysiliconplantsandpolysiliconprocessdesign． Keywords：polysilicon；hydrogenation；silicontetrachloride；vaporization 随着美国和欧洲对国内光伏产品的 “双反”立 尘，将其中少量的硅粉除去，再经多级冷凝回收系统 案，以及欧美和韩国多晶硅的低价倾销，国内多晶硅 得到氯硅烷液体，不凝气体返回循环使用，氯硅烷液 市场一片萧条，目前国内多晶硅价格仅 13—15万 体经粗馏系统分离出未反应的四氯化硅和三氯氢硅 t，已经接近甚至低于国内很多多晶硅企业的生 粗品，四氯化硅返回使用，三氯氢硅粗品送至精馏装 产成本，导致一些小的多晶硅企业相继停产 ，甚至倒 置进行精制。冷氢化装置主要包括物料加压、加热 闭。而一些大的多晶硅企业纷纷通过引进冷氢化技 单元、硅粉加料单元、流化床反应单元、除尘单元、冷 术来降低生产成本 ，提高企业的生存能力。本文对 凝回收单元、粗馏单元以及废气处理单元。四氯化 冷氢化工艺做了简单介绍，并结合工程实际情况对 硅汽化是冷氢化装置中物料加热单元的重要组成部 冷氢化工艺中的四氯化硅汽化方式进行了详细的分 分，选择合理的四氯化硅汽化方式不仅可以有效地 析和 比较。 降低能耗、延长设备的使用寿命，而且对装置的连续