一种激光测量干涉仪的研究.pdfVIP

种 激 光 测 量 干 涉 仪 的 研 究 苏永江 近 , 激 光 测 干 的 究 的重 , 别是 随 工 的飞 , 的 频 小 动 测 已经 【 要 】 年来 量 涉技 术 研 受到越 来越 多 视 特 着现代 程技 术 速 发展 高精度 低 微 振 量 摘 , 成为 目前 工 业和 科 学发 展 中迫切需要解决 的 问题 。 在 综合考虑 了众 多高精度 测 量方 法 的基础 上 本 文提 出 了一 种 用 于 激光 测 量干 涉技 术 的 改进 型迈 克耳逊激 光干 步仪 。 【 】激 光干 涉 振动 测 量 载波调 制 相位 跟踪 关键词 干 干 量 一 量 两 入 干 , , 激光 涉测里 法是 以激光 涉原理 为基础进 行测 的 种 光学测 种频率的光射 涉系统 调整超 声信号 源 的频 率 就 可得 到所需 的外 方法 与一般的光学测 方法相 比 , 激光干 涉测量 法具有 更高 的测试 灵敏 差拍