机器视觉在TFT-LCD点缺陷检测系统中的应用.pdfVIP

冯小波等 ：机器视觉在 TI一LCD点缺陷检测系统中的应用 一一。一一一一一一一一一一一一一一一繁 一一一一一一一一…一一一一一一 文章编号 ：1006—6268(2011)09—0016—06 机器视觉在TFT—LCD点缺陷检测 系统中的应用 冯小波 ，贺 臻 ，施 旭 (上海交通大学电子信息与电气工程学院，上海 200240) 摘 要 ：针对TFT-LCD点缺陷的特征和检测方法，介绍了机器视觉系统的基本构成，提出了一种基于 VisualC++6．0集成开发环境。以EURESYS的eVision作为机器视觉和 图像处理核心软件的TFT— LCD点缺陷检测方法。实验结果表明，该方法能够快速高效地实现点缺陷的自动检测功能。具有良好的 鲁棒性，并为后续复杂缺陷的检测应用提供了一条参考思路。 关键词 ：机器视 觉；TFT—LCD；点缺陷 中图分类号 ：TN141．9 文献标识码 ：B ApplicationofMachineVisionintheTFT_LCDPointDefectInspection System FENG Xiao—bo，HEZhen，SHIXu (SchoolofElectronic，InformationandElectricalEngineering，ShanghaiJiaoTong University，Shanghai200240，China) Abstract：AsforthecharacteristicandinspectingmethodofTFT—LCDpointdefect，thebasic structureofmachinevisionsystem iSintroduced，aTFT-LCDpointdefectinspectingmethodiS proposed，whichisbasedonVisualC++6．0IDE，andtheeVisionsuppliedbyEURESYSasthe machinevisionandimageprocessingcoresoftware．Theinspectionexperimentsshow thatthe proposedmethodcanachievethefunctionofautomaticinspectingofpointdefectrapidlyand effectivelywithgoodrobustness，andofferareferenceideaforapplicationofcomplexdefect inspection． Keywords：machinevision；TFT—-LCD；pointdefect 引 言 射、高清晰度等优点而广受消费者的青睐…。但 由 于 TFT—LCD属于高精密技术与高材料成本的产 作 为 FPD(flatpaneldisplay，平板显示器 )的 业 ，生产流程复杂 ，工艺要求极高 ，制备过程 中容易 主流器件 ，TFT—LCD 以其产品轻薄、低功耗 、低辐 产生各种各样 的显示缺陷。 16 现代显示AdvancedDisplay Sep．2011，总第128期 收稿 日期：2O11-07-20 冯小波等 ：机器视觉在 TFI、一LCD点缺陷检测系统中的应用 根据 TFT—LCD显示缺 陷的形状 ，可分为点缺 1．1 镜头 陷、线缺 陷和面缺 陷。其中点缺 陷是较为常见的缺