溅射工艺对复合结构丝形貌及磁性能影响.pdfVIP

摘要 摘要 本文利用磁控溅射方法制备了Cu/SiO 、Cu/SiO /Ni Fe 和Cu/Ni Fe 复合 2 2 80 20 80 20 结构丝，通过扫描电子显微镜、阻抗分析仪、振动样品磁强计研究了不同转速工 艺以及不同方向诱导磁场对复合结构丝的微观结构、巨磁阻抗效应等性能的影 响，主要结论如下： 1. 改变转速，制备了Cu/SiO2 系列复合结构丝，对其微观结构进行了研究。 转速较低时，由于压应力较大，使得SiO 薄膜表面粗糙，颗粒较大，存在较多 2 缺陷；随转速增加，应力逐渐减小，颗粒减小，表面变得平整；转速继续增加， SiO 由于张应力增大， 表面颗粒变大，缺陷增多。 2 2. 制备了系列Cu/SiO /Ni Fe 复合结构丝，研究了转速变化对其磁阻抗效 2 80 20 应以及磁性能的影响。 (1) 固定SiO2 层、Ni80Fe20 层厚度以及制备Ni80Fe20 层时转速大小不变，改 变制备SiO 层时转速大小，制备了系列Cu/SiO /Ni Fe 复合结构丝样品。随着 2 2 80 20 制备SiO 层时转速的增加，Cu/SiO /Ni Fe 复合结构丝的磁阻抗效应先增强后 2 2 80 20 减弱，其各向异性场呈现先减小后增大的趋势，在SiO2 转速为40rpm 时，磁阻 抗效应最大可以达到138%，各向异性场最小为3Oe 。磁阻抗效应发生的变化主 要与Ni80Fe20 层沉积时基底的平整度有很大关系。 (2) SiO Ni Fe SiO 固定 2 层、 80 20 层厚度以及制备 2 层时转速大小不变，改变制 备Ni Fe 层时转速，制备了系列Cu/SiO /Ni Fe 复合结构丝样品。随着转速的 80 20 2 80 20 增加，Cu/SiO /Ni Fe 复合结构丝的磁阻抗效应先变强后减弱，这有可能与转速 2 80 20 不同时，制备的Ni80Fe20 层颗粒大小以及表面粗糙度不同所致。 3. 用电流磁控溅射方法制备了Cu/Ni80Fe20 复合结构丝，研究了施加电流对 复合结构丝巨磁阻抗效应的影响。 (1) 固定镀层厚度、基片旋转速率以及施加的诱导磁场大小，改变诱导磁场 的方向，探究了不同方向诱导磁场对复合结构丝巨磁阻抗效应的影响。研究表明 当诱导磁场方向与基底丝旋转方向相反时会减弱巨磁阻抗效应，而当两者方向相 同时则可以增强巨磁阻抗效应。 i 摘要 (2) 固定镀层厚度、诱导磁场的大小和方向，改变旋转的速率，研究了转速 对复合结构丝的巨磁阻抗效应的影响。研究结果表明转速越大，巨磁阻抗效应越 强，但是同时，各向异性场大小也会增加。 关键词：转速；粗糙度；巨磁阻抗效应；电流磁控溅射 ii ABSTRACT ABSTRACT Cu/SiO 、Cu/SiO /Ni Fe and Cu/Ni Fe