使用背照减薄型CCD的色散型超光谱成像光谱仪中近红外波段干涉条纹现象的研究与校正.pdfVIP

第34卷 ，第7期 光 谱 学 与 光 谱 分 析 Vo1．34，No．7，pp1995—1999 2014年 7月 SpectroscopyandSpectralAnalysis July，2014 使用背照减薄型 CCD的色散型超光谱成像光谱仪中 近红外波段干涉条纹现象的研究与校正 马 亮，危 峻，黄小仙 中国科学院上海技术物理研究所，上海 200083 摘 要 使用背照减薄型CCD器件的色散型超光谱成像光谱仪在近红外波段会出现条带状干涉条纹 ，严重 影响其在近红外波段附近的光谱分辨率。为解决该现象，建立了类似于法布里一珀罗干涉仪的多光束干涉模 型，估算出700~900nlTl范围内干涉条纹的强度分布并以实测数据对该模型进行了验证，分析了CCD光敏 区厚度和干涉现象之间的关系。在此基础上，采用包括频域滤波在内的改进的平场校正算法 ，对干涉条纹的 图像进行了校正 ，在751．83～1010．04nm的范围内，校正效率达到 96．6Z，试验结果表明，该算法可有效 的消除超光谱成像光谱仪近红外波段上的干涉条纹现象，提高光谱分辨率。 关键词 图像处理；干涉条纹；成像光谱仪；平场校正 中图分类号：O436．1 文献标识码：A DOI：10．3964／j．issn．1000—0593(2014)07—1995—05 出了一套完整 的校正算法，该方法对使用背照减薄型 CCD 引 言 器件的成像光谱仪在近红外波段产生的干涉条纹有着 良好的 校正效果。 高光谱遥感技术是从上世纪末发展起来的一种新型遥感 技术 ，其所得到的高光谱图像包含了观测场景中的光谱信息 1 干涉条纹产生的原因 和空间信息 ，具有 “图谱合一”的特性 1【]，在地物识别，矿物 探测 、精准农业 、火灾预警等方面具有很大的应用潜力[z-43。 如图1，其中(a)是前照型 CCD，通常情况下，光线会通 成像光谱仪按光谱分光方式不同可分为色散型 (包括棱镜色 过其表面的门电路进入 CCD，(b)是改进 的背照减薄型 散型和光栅色散型)、傅里叶变换型、可调谐滤光片型、光楔 CCD，其将 CCD的厚度下降到 10--20 m的范围，与此同 成像型和层析成像型等多种，其中色散型成像光谱仪技术成 时，光线从CCD没有门电路的背面射入，这样就可以避免门 熟，应用也最为广泛l5。]。 电路对蓝光部分的遮挡 。但是，在 750nm以上的近红外部 为了提高系统的量子效率，采用背照减薄型CCD器件 分，因为硅材料在这个波段对电磁波的吸收效率急速下降， 成像，该器件采用 10~20ptm厚特殊减薄的硅基片作为光敏 这使得光波在穿过光敏区部分的时候无法被完全吸收，并会 面，使用背照感光的方式 ，能够有效地提高器件在可见近红 在光敏区的两个分界面上来回反射产生明暗相间的干涉条 外波段的量子效率 8【]。但是，采用减薄设计的CCD器件在 纹。如图2，其中，水平方向是空间维，竖直方向是光谱维， 750~1000nm的近红外波段存在波浪状的干涉条纹，由于 入射波长由下到上基本按线性规律递增。可见，在竖直方向 超光谱成像光谱仪获得的图像成像波段密集且连续，其反应 上，随着入射光波长的变化，探测器面上产生了明显的周期 的是观测场景中不同对象光谱信号间的细微差异[10,l1]。而干 性的干涉条纹[】 。(这里采用的是 e2v公司的CCD55—30一 涉条纹的存在会对包括光谱定标，辐射定标乃至地物识别在 *一F38型CCD器件) 内的多方面应用带来严重干扰，有必要采取措施对其影