基于Parylene的球形凸起微电极阵列的研究.pdfVIP

I 基于Paryene的球形凸起微电极阵列的研究木 芮岳峰杨春生王亚军刘景全 (上海交通大学微纳科学技术研究院，微米／纳米加工技术国家级重点实验室，薄膜与微细技 术教育部重点实验室，上海200240) 摘要：神经工程在揭示神经系统的工作机理以及神经疾病的治疗和康复等方面具有重要意 义。微电极阵列是神经系统与外界电子电路的接口，它的性能决定了整个神经系统的信号采 集和刺激的效果。本文提出了一种基于气相沉积Parylene薄膜的球形微电极阵列。通过光 刻胶热熔同流形成半球状凸起微电极，微电极阵列外部由Parylene包裹，具有较好的柔韧 性和生物兼容性。对比平面电极，具有较低的阻抗。 关键词：神经工程；MEMS；Parylene；微电极阵列 神经工程是神经科学、微电子技术、材料科学以及信息科学的交叉学科。在神经学科中， 神经电极是神经工程系统中最关键部件之一，它起着记录来自运动纤维的电信号和利用电信 号激励或抑制神经活动以实现功能性电刺激的重要作用，是外界电路与生物体的接口。由于 神经细胞尺寸非常小，在神经组织和外界电子电路之问建立起有效和谐的接口是一项极具挑 战性的任务。随着微电予技术和微加工能力的进步，人们开始将MEMS(微机电系统)技术 引入到神经工程领域以克服该领域研究中的障碍，通过微加工工艺制作尺寸与神经细胞相当 的微电极，，以获得更可靠的记录结果和更有效的刺激效果。目前常见的神经电极包括筛状 Electrode)、卡肤电极(CuffElectrode)、剑状电极(ShaftElectrode) 电极(Sieve．Shaped 及由剑状电极演变的梳状(Comb-likeMulti．shanks)二维电极和针形电极阵列、平面微电极 阵列等不同类型的电极。 l微电极阵列的设计 对于植入式微电极，在电极植入生物体内后，往往要保留几个月甚至几十年，因此要维 持电极的正常工作，电极的基底和封装材料必须具有很好的生物相容性和生物稳定性。此外， 由于电极与柔软的神经组织接触，必须具有很好的柔性以适应组织的表面形貌，以免对组织 比与其他的聚合物封装材料，Parylene具有更多的优点，包括它的无针孔涂覆，更低的液气 渗透率，良好的生物相容性，透明性和柔韧性，以及较好的机械强度等。 对于植入式微电极，电极材料也必须具有一定的生物相容性和稳定性，同时要考虑到电 极在电流条件下在生物体内不被腐蚀。因此，电极材料往往选择惰性贵重金属，如铂、金、 铱、钨等。另外，对于电极材料的选择还要考虑工作中的能耗、稳定的电化学性质、稳定的 阻抗和频率响应特性等。对于电极引线，由于通常是通过绝缘材料和封装结构包埋在电极主 ‘基金项目：国家自然科学基金资助项目；上海市科委纳米专项基金资助项目(0852仰心5鲫)：上海市教委曙光计划 (08S6t3)． 作者简介l芮岳峰(1980一)，男，在读博士．E-mail：yfrui@sjtu．eAu．饥． 196 体结构的内部，不会直接与体液环境接触，因此材料的抗腐蚀特性和生物相容性不是主要考 虑因素，主要考虑其电学特性、加工成本以及其加工过程与MEMS工艺的兼容性。 在电极制各过程中，选用金作为电极和引线材料，通过溅射工艺形成电极和引线，工艺 过程简单。通过一次襁射形成电极和导线，减小了采用不同金属制备电极和引线时金属问的 接触阻抗，能够进一步减小电极阻抗。 利用光刻胶热熔技术，设计了一种新型的半球形凸起三维电极。与圆柱形电极相比，在 相同底面积的情况F，半球形电极能够使电极的有效接触面积增大2倍，这对于进步减小 电极阻抗有一定的作用。图l是半球形凸起微电极阵列单个电极点的剖面示意图。 固1微电极阵列单个电极点的剖面示意图 设计了5x5的微电极阵列，初婚电极直径为50pan，电极间间距为600Stm，刺激电檄通 过F埋导线与引脚电极相连，刺激器将通过引脚电极输入刺激电信号。引脚电极尺寸宽为 0 设计隔。 图2微电极阵列的设计图 2微电极阵列的制作工艺 采用光刻胶热熔技术．通过图形转移，并采用生物相容性材料Pa吖l∞ec薄膜包裹，再 使用P叫leneC的反应离子刻蚀露出电极点，从而获得了电极形