一种高稳定性隧道显微镜的设计与应用.pdfVIP

维普资讯 第24卷第6期 仪 器 仪 表 学 报 2003年12月 一 种高稳定性扫描隧道显微镜的设计与应用 蔡从 中 舒启清 陈新镛 郑小林 王万录 (重庆大学应用物理系 重庆 400044) (深圳大学理学院 深圳 518060) 摘要 报道 自行研制的一种隔振能力强、能在大气和液体中工作的高稳定性扫描隧道显微镜。它通过一个多级齿轮减速器和 一 个杠杆机构实现并完成探针粗进给到达压 电陶瓷管的扫描和平移范围的运动。介绍了电子控制系统的组成，讨论了热漂移 及其抑制方法 ，给出了该仪器在高序定 向热裂解石墨 (HOPG)、猪脾 DNA分子 、奥氏体晶界的观测 以及石墨表面纳米级加工 等方面的应用与研究结果 。 关键词 扫描隧道显微镜 设 计 应 用 Design and ApplicationsofaHigh—stabilityScanning TunnelingM icroscope CaiCongzhong ShuQiqing ChenXinyong ZhengXiaolin W angWanlu (DepartmentofAppliedPhysics，ChongqingUniversity，Chongqing 400044，China) 。(Collegeof Science，ShenzhenUniversity，Shenzhen518060，China) Abstract A novelhome—madehigh—stabilityscanning tunnelingmicroscope (STM )capableofisolatingvibra— tionsandoperatingingasesandliquidsisreported．A multi—gearreducerandaleverwereusedtocompletethe coarsetippositioning to withinthescan andtranslation rangesofthepiezoelectrictube．Afterintroducingthe schem eofelectricalcontrollingsystem ，thermaldriftand itsrestraintmethodologyarediscussed．Finally，som e experimentalresultsofthisinstrumentindifferentareassuchassurfaceobservationsofHOPG ，DNA molecule ofpigspleen，grainboundaryofaustenite，andnanolithographyonHOPG inair，aredescribed． Keywords Sc anningtunneling microscope Design Application 适合于在大气 、真空、液 体、低温 或强磁场条件下的多 1 引 言 种 STM 。尽管STM 的构型各不相同，但都包括有下述 三个主要部分 ：驱动探针相对于导 电试样表面作三维 扫描隧道 显微镜 STM (ScanningTunnelingMi— 运动的机械系统 (镜体)，用于控制和监视探针与试样 croscope)是基于量子力学隧道 效应原理而发展起来 之间距离的电子系统和把测得的数据转换成图像的显 的一种新 型显微镜和表面分析仪器 ，被广泛应用于物 示系统 。由于STM 工作时探针与试样间为几个原子 理学、化学 、材料科学 、生物 医学和微 电子学等