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第 3期 光 学 技 术 N。.3
1998
1998年5月 OPTICALTECHNOLOGY May
轻型反射镜研究与发展
齐亚范方敬忠 杨 力 吴时彤 熊胜明张云洞
(中国科学院光电技术研究所,成都双流610209)
摘要:应用有限元分析方法研究了自重对轻型反射镜变形的影响.反射镜轻量化技术及关键材料.
并研糊出争630mm轻型熔石英反射镜;高温200c、1氐温一40_c及5年时效对面形稳定性影响;轻型熔石
英反射镜加工技术}轻型反射镜宽带高反射膜系及镀膜技术。利用上述技术研制出毋300mm、4,410mm、
632.8nm)。
关键词:轻型反射镜,熔石英。
and of mirror
Investigateddevelopmentlightweight
QiYafan Li Wu Yundong
FangJingzhongYang Shibin%iongShengmingZhang
(Institute ofsciences.Chengdu610209)
ofOptics&Electronics,ChineseAcademy
Abslract:Influenceof of mirroroilsurfacedeformationwasstudiedbyfiniteele—
weightlightweight
ment method.The ofmirrorand materialswasstudiedanda垂630mm
analysis lighteningtechnique key
fusedmirrorwas effectsof
lightweight developed.Thehigh—temperature(200
40C)and On were fabrication
five—year’sageingfigurestabilityinvestigated.Optical
andwide film of mirrorwerealso
technology high—reflectivesystemlightweight
and
and fusedsillicamirror300mm,410mm,470mm630ramindiameterandsome
sphericalaspherical
mirrorsweremanufactured.Theof fusedsillicamirrorwasreducedabout70%.
plane weightlightweight
of470mm fusedsilica mirrorwos0.117XinP—V,0.024XinRMS(X:632
Figure spherical lightweight
8rim).
mirror,fusedsilica.
Keywords:lightweight
一、前言
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