PZT薄膜厚度对BMTPZT复合薄膜结构及介电性能的影响.pdfVIP

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2017-08-20 发布于湖北
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PZT薄膜厚度对BMTPZT复合薄膜结构及介电性能的影响.pdf

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PZT薄膜厚度对BMTPZT复合薄膜结构及介电性能的影响.pdf

吕纯等: 薄膜厚度对 / 复合薄膜结构及介电性能的影响　 PZT BMTPZT ２４１１５文章编号: ( ) １００１Ｇ９７３１２０１４２４Ｇ２４１１５Ｇ０４薄膜厚度对 / 复合薄膜结构及介电性能的影响∗ PZT BMTPZT , , , , 吕纯吴智周静沈杰陈文　　　　　 ( , ) 武汉理工大学材料科学与工程学院武汉４３００７０ : ( ) , , 摘要采用液相旋涂法制备了 / / 质薄膜相比异质薄膜的表面粗糙度降低介电损耗降　　 BaM Ta O g １３２３３ [ ] ( )/ ( ) ( ) , . １１ / BMT PbZr Ti O PZT 复合薄膜研究了低 Lee等研究不同叠层方式的M TiO CaTiO ０．５２０．４８３ g ３３薄膜厚度对 / 复合薄膜结构及介电性 ( / )多层薄膜发现, 随层厚度增 PZT BMTPZT MTO CTO tanδ CTO [ ] . , / . １２ ( 能的影响随着PZT薄膜厚度的增加 BMTPZT复大而增大周静等研究了异质界面对 CaMg/ １３ . ) / 合薄膜的介电常数呈线性增加当薄膜的厚度 / 叠层薄膜结构和介电性能的影响发 PZT Nb O CaTiO ２３３３ , / , , , 较小时会明显地增加 BMTPZT复合薄膜的介电损现随着薄膜中异质界面个数的增加介电常数增大 [ ] １３ ; ,