磁控溅射法制备Zn1-xFexO薄膜的微结构及铁磁性研究.pdfVIP

: 更藏多杰 等 磁控溅射法制备 Zn FeO薄膜的微结构及铁磁性研究 １－x x ２１０７７ 文章编号: ( ) １００１Ｇ９７３１２０１４２１Ｇ２１０７７Ｇ０３ 磁控溅射法制备Zn FeO薄膜的微结构及铁磁性研究∗ １－x x , , , , , 更藏多杰 马书懿 李文琪 毛玉珍 罗 晶 程 亮 　 　 ( , , ) 西北师范大学 物理与电子工程学院 甘肃省原子分子与功能材料重点实验室 甘肃 兰州 ７３００７０ : ( , ), 摘 要 采用射频磁控溅射法在 衬底上制备了 直径 厚度 片在溅射靶中所占面积 　 　 Si ６０mm ４mm Fe ( , , ) , , , . 薄膜样品 并利 分别为 和 靶与衬底距离为 Zn FeO x＝１．０％ ３．０％ ５．０％ １．０％ ３．０％ ５．０％ ５０mm １－x x ( )、 ( )、 、 用 射线衍射 扫描电子显微 射线 制备前用去离子水 丙酮和酒精依次对纯度优于 X XRD SEM X ( ) 、 , 光电子能谱 对其微结构 表面形貌和化学成分 的自制铁片和 片衬底进行超声清洗 XPS ９９．９６％ Si １５min , , ( , , 及价态进行分析 结果表明 交替清洗 次 清洗完毕后用干燥的氮气吹干迅速放 Zn FeO x＝１．０％ ３ １－x x , ) , 薄膜晶体结构为 轴择优生长的六角纤 入真空室 样品制备过程 中真空室充入纯度优于 ３．０％ ５．０％ c , . ( ) ( )( ) , 锌矿结构 在晶体中以二价和三价两种价态存在 的 的混合气体 腔体 Fe ９９．９９％ V O ∶V Ar １０∶１６ ２ 利用振动样品强磁计( )对样品的铁磁性进行测