紫外光辐照下钛硅共掺杂类金刚石薄膜微结构的演化.pdfVIP

第 29卷 第 9期 无 机 材 料 学 报 Vb1．29NO．9 2014年 9月 JournalofInorganicMaterials Sep．，2014 文章编号：1000-324X(2014)09-0941．06 DOI：10．15541~i 紫外光辐照下钛硅共掺杂类金刚石薄膜微结构的演化 姜金龙 ，一，王 琼 ，黄 浩 ，张 霞 ，王玉宝 ，耿庆芬2 (1．兰州理工大学 应用物理系，兰州730050；2．中国科学院 兰州化学物理研究所，固体润滑 国家重点实验室，兰 州 730000、 摘 要：采用中频磁控溅射 Ti80Si20合金靶在单晶硅表面制备了钛硅共掺杂的类金刚石薄膜 。利用紫外一可见光多 波长Raman光谱表征薄膜微结构，并结合FTIR光谱研究了紫外光辐照对类金刚石薄膜微结构的影响，进一步讨论 了紫外光辐照下薄膜微结构的演化机理。结果表明：非晶结构的类金刚石薄膜出现反式聚乙炔和聚对苯乙炔类聚合 物结构以及 sp杂化的线型卡宾碳结构。紫外光辐照诱导薄膜微结构驰豫和重构，薄膜 si—0和C-0键含量增加，C=C 和 c—H键含量减少；同时薄膜 sp 团簇尺寸减小而无序度增大。 关 键 词：类金刚石薄膜；紫外光辐照；拉曼光谱；红外光谱；结构演化 中图分类号：TB303；0484 文献标识码：A M icrostructureEvolutionInducedbyUltravioletLightIrradiationinTi-Si CodopedDiamond—likeCarbonfilms JIANGJin—Long一，WANGQiong，HUANGHao，ZHANGXia，WANGYu—Bao，GENGQing．Fen (1．DepartmentofAppliedPhysics，LanzhouUniversityofTechnology,Lanzhou730050，China；2．StateKeyLaboratoryof SolidLubrication，LanzhouInstituteofChemicalPhysics，ChineseAcademyofSciences，Lanzhou730000，China) Abstract：Titanium／siliconCO--dopeddiamond-·likecarbonfilmsweredepositedonSisubstratebymiddlerfequency magnetronsputteringusingTi80Si20compositeastarget．Themicrostructureofthedepositedfilmswascharacterized byultravioletandvisiblemulti—wavelengthRaman spectroscope．Theinfluenceofulrtavioletlightirradiationonmi- crostructureofthefilmswasinvestigatedbyacombinationofRamanandFTIR specrtoscope．Themechanism ofmi- crostructuralevolutionofthefilmsinducedbyultravioletlightirradiationwasdiscussed．Theresultsshow thatthe film dominatedbyamorphousstructuredisplaysinclusionsoftrans-polyacetylene，p-phenylenevinyleneandsphy- bridizedcarbinecarbonchains．Ultravioletlightirradiationinducestherelaxationandreconstructionofmicrostruct