稀土掺杂钛酸铋系铁电薄膜的制备及研究进展.pdfVIP

第5卷 第9期 黑龙江科学 V0J．5 No．9 2014年 9月 HEILONGJIANGSCIENCE September2014 稀土掺杂钛酸铋系铁电薄膜的制备及研究进展 于 倩 ，刘洪成，张晓臣 (黑龙江省科学院高技术研究院，哈尔滨 150020) 摘要 ：综合论述了稀土掺杂钛酸铋系铁电薄膜的研究概况，分析了目前稀土掺杂钛酸铋系铁电薄膜的制备方法、优缺 点及其研究进展 ，并结合 目前研究情况讨论了未来的发展趋势。 关键词：钛酸铋薄膜；稀土掺杂；薄膜制备 ；研究进展 中图分类号：TM22+3 文献标志码：A 文章编号：1674-8646(2014)09-0009-03 ht，reparat·-ion and’researcn1 Progress0tnrare-eartAh·d1oped’ b’i-sm Ut·n■ t·i-t-anate· Serl●esr一err0el’ectri·c th·’i-n I～iI’re s YuQian，uUHung—cheng，ZHANGXiao-chen (InstituteofAdvancedTechnology，Heilon~iangAcademyofSciences，Harbin150020，China) Abstract：Theresearchonrare·earthdopedbismuthtitanateferroelectficthin filmswasreviewed．Thepreparationofthe eu／Tentrare—earthdopedbismuthtitanateferroelectricthinfilmsand theadvantagesanddisadvantageswereanalyzed．Thefuture reserachtrendswerediscussedcombinedwiththecurrentsituation． Keywords：bismuthtitanatefilms；rare-earthdoped；film preparation；reserachprogress 钛酸铋 (BiTi。O ，BTO)是一种具有层状钙钛矿结构 表 1 不同稀土元素掺杂的BTO薄膜性能 的无铅铁电材料 ，具有居里温度高、绝缘强度高、电阻率高、 Tab．1 Thepropertiesofdifferentrare·earth dopedBTO films 介 电击穿强度大、介 电常数低、老化率低、烧结温度低等优 点 ，已成为 国际上铁电薄膜制备和应用研究的热点。 但是，由于其结构中铋氧层的存在使其压电性弱，产生的铁 电疲劳问题限制了其应用。所 以，提高钛酸铋的抗疲劳性 一 直是研究的重点。1999年，Park 等人首先在 Nature上 报道 了La“离子掺杂取代 A位 Bi¨离子的 BTO(Bi325 La。TiO )铁电薄膜，掺杂后的铁电薄膜剩余极化值超 (CVD)和金属有机化学气相沉积法(MOCVD)。溶液沉积 过 12 c／cm2，呈现出极为优 良的抗疲劳特性，Park等人认 法包括溶胶凝胶法 (Sol—ge1)、化学溶液沉积法(CSD)、水热 法等 。 为 La元素对钙钛矿结构中 离子的取代，是材料性能发 生极大改善的主要原因，并且指出其他的稀土元素对 Bi原 2．1 激光脉 冲沉积法 子的取代也会有类似的结果。随后，相继出现 了在 BTO薄 激光脉冲沉积法是利用准分子激光器产生的高强度脉 膜中掺杂其他稀土元素的报道 ]，相关结果如表 1所 冲激光束聚焦在靶材表面，使靶材表面产生高温并熔融，并 示 。近年来，稀土掺杂钛酸铋铁电薄膜 已经成为了研究 进一步产生高温高压等离