表面多孔材料的光声光谱的研究.pdfVIP

表面多孔材料的光声光谱研究 杜英磊，李宜德，吴柏枚 (中国科技大学理学院，安徽合肥 230026) Investigationofphotoacousicspectroscopyon porousmaterials DUYing-lei,LlYi-de,WUBai-mei (SchoolofScience, UniversityofScienceandTechnologyofChina,Hefei,Anhui230026,China) 1 前 言 -l心f‘一{ 收长度研究在近十几年来，半导体材料表面用电化学腐蚀后形成多孔表面层，从而使材料的 光学、电学等性质起了非常巨大的变化，引起人们广泛关注。这些材料中最重要的是多孔Si，其 次是多孔sic。对于前者，其光学性质的变化，特别是光致发光强度增加，普遍认为是量子尺寸效 应引起的，而后者至今还没有得到满意的解释{1]。光声光谱技术特别适用于不透明材料的研究， 可以得到半导体材料的许多有价值得信息如能带结构，吸收系数等。有人已经对多孑Lsi的光热谱 进行了初步的尝试 3【]，而对于多孔sic尝未进行。多孔sic的表面是覆盖着平均高度约为20-50nm 颗粒的平均尺寸为30-80二的多孔层，同时这一层与基质层联为一体没有界限]L21，因此，其光 学吸和 “层厚”大多时候处于同一量级状态，这给光声谱的研究提出了一个新课题。 2 实验结果: 样品制备如文献(11中所述。样品表面结构随制备条件不同略有不同，DCM条件下 (没有光照 下腐蚀)样品的平均粗燥度约为PA条件下 (在紫外光照下腐蚀)的一至二倍。颗粒的平均尺寸为 30-50二，DCM条件下样品大于在PA条件下制备的样品，约为50-SOnm。 -PSC颗粒的平均高度约 为20-3Onm，同样DCM条件下样品平均高度略大于在PA条件下制备的样品[1]。 光声信号振幅随人射光能量的变化曲线如图1所示，图中三个样品的信号都归一化到光声信号 饱和值，斩波频率为52Hz.测量条件和参数完全相同。我们看到多孔Sic的振幅与原始sic有类似 的形状，其差别主要发生在低于带隙能下的能量区域。多孔样品的振幅比原始sic有较大的增加， 而DCM样品的振幅又比PA样品大。这一变化趋势与光致荧光的结果完全一致，因此，我们认为它反 映了样品多孔化后，光学吸收系数的增加。其二，在低于带隙下存在有两个明显的峰，其位置分 别为2.1和2.45eV，这也与与光致发光光谱实验结果较好符合。这说明，光声信号的振幅谱反映了 多孔材料的光吸收性质。 进一步，将样品多孔的表层和基层看成一个整体，应用多孔Sic结构参数和原始sic的物理参 数，运用R-G理论公式对曲线进行拟合，得到DCM.PC的和原始Sic样品的带隙分别为:3.65.3.80. 3.82evo 光谱的位相变化与人射光能量 (波长)关系如图2所示。从图中可以看到，原始Sic在低能区 基本与能量无关，接近直到带隙以上高能区则与能量有一个线性关系，而多孔sic在整个测量波长 区有一个线性关系。由于原始sic在带边附近光吸收系数变化很大，同样，多孔化后，光吸收系数 作者简介:杜英磊 中国科学技术大学天文与应用物理系教授，中国声学学会会员，中国物理学会演示实验教学研 究会理事。1982年以来，主要从事光声光热技术及其应用的研究，在国内外主要刊物发表论文40余篇， SCI.El等收录21篇。 在整个测量区域都有很大增加，不同样品位相变化的规律与光声振幅的变化规律一致，这一切表 明多孔层结构的材料的光声信号位相与光吸收系数存在着一定的关系。 沙饭叫 n ︼ y 一 矛 创 三三翼 · 弓 ﹄ / 瓜 月 - . S v 几 2 ， 4 5