碲锌镉晶体材料地研究.pdfVIP

碲锌镉晶体材料的研究 张华山王金义张学仁张建平张友赵宏 10001 (华北光电技术研究所 北京 5) 摘要：采用垂直布里奇曼法生长出直径45mm的碲锌镉晶体，经过切割、磨抛工艺制番出晶片厚 度1．0Ⅻ、(111)面碲锌镉晶片．经过测量，碲锌镉晶体材料的性能为：成晶率60％、锌值 xl0 =O．03—0．05、FWHM30孤秒、EPD2 s／cm2、红外透过率60％(2．5—25“m)，为红外焦平面技 术中的碲镉汞液相外延工艺提供衬底基片．研究表明：单晶炉的轴向和径向温度梯度、组分过冷以 及长晶速率都对晶体的性能产生一定的影响。 关键词：碲锌镉晶体材料 垂直布里奇曼法 温度梯度 组分过冷 长晶速率 碲锌镉晶体材料具有硬度高、和碲镉汞外延膜的品格匹配性蚶等优点。随着红外焦平面技术的发展， 要求碲镉汞外延膜的面积逐渐增大，从而要求增人碲锌镉衬底材料的面积。在增加碲锌镉衬底材料 面积的同时，必须增加品锭的尺寸，这就对晶体，l：艺提出了更为严格的要求：建立合适的温场、轴 向乖¨释向温度梯度、长品速率、退火温度及降温速率等，因此如何生长出人直径的碲锌镉晶体是世 界笄国正在研究的课题。目前生k碲锌镉晶体主要采用水平和乖直布里奇曼两种方法，我仃J采_L}j币 直布里奇曼方法开展碲锌镉材料的研究已经有十多年的历史”3l，近两年开展了直径45mm碲锌镉品 体材料的研究，材料的符种性能已经达到了碲镉汞外延膜的要求，衬底材料面积尺寸有20×20mm?、 35X 35mm。和35×50mm2，碲锌镉衬底材料的性能为：成晶率≥60％、锌值组分0．03、0 05、X-射线衍 射、-峰宽(FWHM)≤30弧秒、位错腐蚀坑密度(EPD)≤2X um)。 101／cm2、红外透过率≥60％(2．5、2j 本文主要论述碲锌镉材料的晶体生长I一艺、材料的测试性能以及1．艺参数对碲锌镉品体材料性能的 影响。 1工艺实验 1．1材料的制备 I．艺实验中所采_【{{的各种原材料纯度以及生产厂家如表1所示 表l原材料的纯度以及生产厂家 鱼塑 续鏖 圭主!：窒．二．．．二： 碲 9999999％ 峨嵋半导体材料J 锌 99．9999％ 峨嵋半导体材料』 堑 !!：!!!!!兰 坚塑兰曼竺塑塾!． 备品锭的化学配比、组成以及各物质的壤如表2所示 室!曼堡塑望坌坠墨些兰墼些 4，合成温度1000C，合成时间24h。 室温真空封接以及高温合成工艺．封接真空度5’7×10 1．2晶体生长工艺 将合成完毕的各料锭装入内径80mm、多区垂直布里奇曼单晶炉丙进行晶体生长，上炉温区1130 温度梯度≤O．5℃／cm，按照以下工艺参数进行晶体生长，各晶锭的]：艺参数如表3所示： 表3各种晶锭的工艺参数 1．3衬底的制备 为了切割出(111)面晶片，首先进行晶体定向，晶向111，定向精度≤±O．5。，其次采川 内圆切割机进行切割，切片厚度约1．2mm．最后对晶片进行磨抛处理，晶片最终厚度约1．Om。 1．4材料测试 采心美国Research 射线形貌仪进行形貌像照射，照射时间为30min：日本Rigaku公司x一射线仪测量晶格常数和F嗍； 北京第二光学仪器厂FTIR红外透射仪测量碲锌铺材料的红外透过率；