溅射硫化锡薄膜性质的研究.pdfVIP

墨翌堕些竺兰竺竺垦竺窒ll 溅射硫化锡薄膜性质研究 魏光普1 张志林1 赵惠明1 长友隆男2 大本修2 1 上海 2 上海大学材料科学与工程学院，201800 日本芝浦工业大学，东京 摘要：硫化锡是制作低成本太阳电池的一种有希望的材料，因为它对太阳光有较高的吸 收系数，而且有适当的禁带宽度。理论上估计用硫化锡制作太阳电池能达到25％左右的转换 效率。从低成本、无毒性、性能稳定等方面考虑，硫化锡也是制作太阳电池的适宜材料。由于 它对太阳光有很高的吸收系数，因此它也可以作为太阳能集热器的吸光材料。 本研究使用高频溅射法制备了硫化锡薄膜，并测定了它的组分，光学性质和电学性质。研 究了所得硫化锡薄膜的性质与溅射条件的关系。利用锑作掺杂剂结合加温(400℃)退火，制成 了N型硫化锡薄膜，为制作硫化锡P／N结型太阳电池作了帮索。 关键词：硫化锡 太阳能太阳电池 sulfide(SnS)filmswere RF method．The Abstract：Tin by sputtering prepared component， electrical ofSnSfilms and weremeasured． crystalstructure，opticalproperties properties betweentheSnS were The films measured．The betweentheSnS relationship relationship films andthe was Sbas and condition a properties sputtering discussed．Usingdopant thermal atelevated 400C)，theSnSfilms combiningannealing temperatures(aboutn-type wereobtained． solar solarcells energy Keywords：SnS 1前言 2样品制备 以射频(13．65 硫化锡是制作低成本太阳电池的一种有希望的 MHz)溅射设备及高纯 材料，因为它对太阳光有较高的吸收系数，丽且有适 (99．99％)硫化锡作原料制备了硫化锡薄膜。主要 当的禁带宽度。理论上估计用硫化锡制作太阳电池 的实验控制参数是射频功率(包括阳极电压及电 可能达到25％左右的转换效率。从低成本、无毒 流)，溅射腔的氨气压力、衬底温度，溅射靶面与衬底 性、性能稳定等方面考虑，硫化锡也是制作太阳电池 的距离。在本文的研究工作中，溅射腔压力控制在 的适宜材料。由于它对太阳光有很高的吸收系数， 5×1．33．322Pa，射频功率、阳极电压和电流分别控 因此它也是一种太阳能集热器的吸光材料。 关于真空