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用核孔膜、扫描电子显微镜和微电子探针
研究环境气溶胶
郭士伦
1(中国原于能科学研究院,北京102413)
Brandt P
R rater
(Kemchemie·Uaiversitat
M村bu唔.Gtmmny)
摘要用云母棱孔膜、扫描电子显微镜和徽电子探针对工艺房间空气中悬浮的气溶胶进行了采集.
并对气溶胶的粒径分布、微粒形态、微粒结构、元素成分和扑集机制进行了研究.本文报导研究方
法和结果.
关健词核孔膜、扫描电子显徽镜、徽电子撵针、气溶胶、粒径分布、元素成分、扑集机制、纳米
科学
环境空气中含有大量肉服看不见的微米和亚微米悬浮固体微粒(气溶胶),它们的质量很
小.在空气中受空气分子不断碰撞作布朗运动,可长期悬浮在空气中.并扩散或迁移到其他地
方。环境气溶胶是一种有害的污染因素,主要毒害部位是肺脏;另一方面.环境气溶胶的粒径
分布、结构形态和化学成分与气溶胶源的性质有关【“。,环境气溶胶鉴别可成为确凿的侦察手
段。
核孔膜是用重离子在绝缘物质薄膜上打孔和蚀刻扩孔而成的具有许多穿透性微孔的薄膜
[31,核孔膜的孔径均一,孔径范围为0.0l—lOum。与气溶胶的粒径范围一致。另外,核孔膜
表面光滑透明,无体吸收作用(或可忽略),气溶胶微粒被扑集在核孔膜表面.便于仪器观察
和测量。
为了调查工艺房间的污染状况、发展气溶胶的研究方法、揭示气溶胶的运动规律和扑集机
制.我们用云母核孔膜、扫描电子显微镜和微电子探针对工艺房间的气溶胶进行了采集和研究。
1气溶胶采集
um白云母片在德国重离子研究中心(GSI)加速器
本工作采用的核孔膜是用厚50
UNKAC上用重离子照射和48%HF蚀刻扩孔而成。采样器核孔膜成级联形式,第一至四级核
p cnl和孔隙率~
孔膜的孔径分别为:7.0、3.6、1.0和0.3m,各级核孔膜的有效面积皆为直径4
5%。用负压34.4kPa抽滤采样.在抽滤过程中,空气中的气溶胶微粒被核孔膜截获,附着在
核孔膜表面。
中国一德国科技合作项目
11f
2扫描电子显微镜观察和气溶胶粒径测量
首先,把采样后带有气溶胶微粒的核孔膜表面用溅射法制各金(Au)层,作为导电层;
然后把核孔膜放入电子显微镜进行扫描,并拍摄照片。图l为第一级核孔膜扑集的气溶胶的电
子显微镜照片。图1上方可见白云母核孔膜菱形微孔的一个角,微孔入口边缘处有许多亚
圈1第一级核孔膜扑集的气溶胶的电子显微镜照片
0faeresols∞thefirstmicatrackfilm-
n‘-1Ⅱe,ctronIIIjerograph
微米气溶胶微粒,微孔左下方有一粒径较大的气溶胶微粒。为了对较小气溶胶的粒径进行精确
测量.通常增大电子显微镜放大倍数,从一般15k增大到38k80k倍。用校准的直尺在照片
上颢4量每个气溶胶的粒径(最大长度)。图2给出了第一级核孔膜上气溶胶的粒径分布。由图
um之间,在0.1“m附近呈现极大值.这表明工
2可见.大部分气溶胶的粒径在0.025—巾.3
艺房间的气溶胶微粒较小.这可能与工艺房间是净化车间有关,较大气溶胶微粒已被净化设备
滤除。
3微电子探针分析气溶胶的化学成分
微电子探针由装入扫描电子显微镜的微电子束发生装置和Sift.i)探测器以及外部的能谱
m,远小于上述气溶胶的粒径。当微电子束轰击某个气溶胶
仪组成。微电子束的直径O.02u
微粒时,微粒中的原子被电子激发,在退辙过程中发射特征X射线,用si(u)探浏器记录各种
原子的特征X射线
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