原创力文档- 1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
- 2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
Mecll枷cal
J咖删of s触-gtIl 机械磅盘
循环加载下金属薄膜的裂纹萌生行为及其微观机制的研究带
MECHANISM
THECRACKINITIATIONBEHAVIORANDns
STUDYOF
OFTHINMETALFILMSUNDERCYCLICLOADING
张广平料
(中国科学院金属研究所，沈阳材料科学国家(联合)实验室，沈阳110016)
ZHANG
GuangPing
National Materials Meml
(ShenyangLaboratoryfor Science，Instituteof Research，
Chinese 110016，Ch／na)
AcademyofSciences，Shenyang
摘要金属薄膜广泛应用于大规模集成电路及微机电系统(micro-electro-mechanical
systems，MEMS)设备中，循环加载
下薄膜的可靠性至关重要。本研究在聚合物基体上制备不同厚度的铜薄膜。研究它们在循环加载下的疲劳裂纹萌生行
为及其机制。实验结果表明，薄膜厚度影响薄膜的循环应变局部化和裂纹萌生行为。随薄膜厚度的减小，裂纹萌生从厚
薄膜中的挤出诱发的疲劳开裂方式逐步转向较薄薄膜中的界面诱发的疲劳开裂方式。由于基体的约柬，位错结构随薄
膜厚度的变化是疲劳开裂行为变化的原因。
关键词 金属薄膜循环载荷裂纹萌生位错结构尺寸效应
中图分类号0346．2
AbstractThinmetalfihnsare usedin scale circuitsand
widely ultra-largeintegrated
The ofthemetalfilmsunder loadis this filmswere the mtbstratea．
reliability fatigue veryimportant．Instudy，Cu prepay!onpolyimide
its resultsshowthat
The crockinitiationbehaviourandmechanismwere strainlocalizationandcrackiniti·
fatigue investigated．The cyclic
are
ationbehaviour affectedfilmtllickne鹤．Withfilm initiationbehaviour theextru·
strongly by decreasingtllicl【|1e鹪，crack ch蛳固∞from
films
sion-induced inthethickertotheinterface-induced inthethinnerfilms．’rhetransitionofthefa．
fatiguecracking fatiguecracking
behaviottrisattributedtotlle indislocatiOllstmctu
文档评论（0）