电容式复合介质膜湿敏元件探究.pdfVIP

第15卷第l搠 郑州轻工业学院学报(自然科学版) Vol_1S‘No．4 INSTITUTE OF OF Scitaet) 2000年12月 JOURNALZHENGZHOU LIGHT[NIXJSTRY(NamnlDec．2000 文l■号：1004—1478(2000)04—0095—04 ·湿度传感■与水分检测研究· 电容式复合介质膜湿敏元件研究 卢崇考， 周明军 (信忠产业部电子第49研究所，黑龙江哈尔滨1500017 搞要：提出一种新型电客式复合介质膜湿教元件，馕组件介质硅是由域性督出、温度特拄取向 不同的两类感湿介质膜(CAB，PI)互补蔓合而成的．试验表明，该复合舟质膜噩牧元件具有优 异的践性精出，其温度系数、重复·陆也有明显改善． 美t词：复合薄膜}补偿；非线性；温度系数；湿敏元件 中圈分类号：TM54 文献标识码；A 0引言 湿度是衡量空问气态水分多少的物理量．湿度大小直接影响人类健康与舒适程度、莉植物生长、工业产 品质量控翻、科研条件设置、国防建设等．因此，湿度测量与控制十分重要．湿度测量中应用量广泛的是电容 其特点：前者温度系数取向为负，后者则为正}两者线性输出取向也不相同，特别是在离漫段，具有明显的互 补性．为解决在实际应用过程中经常遇到的非线性误差和温度特性、重复性等问题，本文刺用2种不瞬■度 系数取向、线性输出各异的感湿介质材料，有目的地进行性能参数相互补偿，制成了复合介质膏分子温戢元 件．试验表明，该复合介质膜湿敏元件具有优异的线性输出，温度系数、重复性也有明显改善． 1实验 1．1‘谩介质材料 本试验选用的聚酰亚胺感湿介质材料为上海交通大学高分子材料研究所提供，编号为P15，溶剂为 翻提纯■捌适宜精度，并加入少量交联剂待用． 1．2工艺过程 在无碱玻璃基片上依次蒸发铬、金，并刻蚀出显敏元件下电极图形，在其上旋转涂覆调制好的P15癌湿 h．经过表面处理后，在P15摩湿膜上再涂覆一层cAB一551摩显藏， 藏，低童臂式妒内350℃热固化1 150℃热固化1h．余下工序同MSR系列湿敏元件制作工艺． 为作试验对比，平行制作P15单介质膜湿敏元件和CAB_一551单介质膜湿敏元件各5只． 1．3试t囊件 1．3．1韧始值性能舅试湿度源选用Bsz一1塑饱和盐湿度发生装量(信息产业部电子第49所，国家“八 t一日期：2000—07—10 毒暑研宽． ·96· 弗州轾工生拳臃掌报(自箍辩拳牍) 2000韭 表研究所产)，测试壤率1kHz，模式：串联形式． 对湿度值见表1． 表1各温度点的饱和盐溶液相对湿度 ％ 2试验结果与分析 2．1潼滞特性 合介质糜湿簟元件的漫游也在1．5％～2．0％之间．PI+CAB复合介质膜湿敏元件的湿游趋向于湿滞特性好 的一方(见圈1)． 相对■盅／N 相对■庄／“ 掴对崔虞，“ “)pl舟重■(1‘) (b)CAB舟重I(11‘) (c)PI+CAB蔓舍舟重一‘9‘) 田l不同介质虞涯敏元件疆滞特性曲线 2．2垂穗性羹t ， 由圈l可知，PI介质膜的线性输出取向稍呈凸盈，CAB介质膜的线性输出取向稍呈凹型．笔者利用PI +CAB复合介质蕞进行线性输出互补，给出线性■出的优异结果．PI+CAB复台介质膜湿敏元件的非线性 误差在士1％以内．图2为不同介质膜湿敬元件非线性误差特性曲线． 相对l崖／“ 槽对叠度／吖 榴对叠崖，％ (i