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悬臂梁式超磁致伸缩薄膜驱动器动力学模型 王福吉 贾振元 赵建国 刘巍 大连理工大学精密与特种加工教育部重点试验室 大连 116024 摘要：薄膜式超磁致伸缩驱动器的磁致伸缩动力学模型及系统特性的理论分析与研究，是超磁致伸缩薄膜驱动器在实际工程 中推广应用的关键基础，是设计超磁致伸缩薄膜驱动器的重要理论依据。本文系统研究了超磁致伸缩薄膜驱动器工作机理， 分析了薄膜式驱动器中超磁致伸缩薄膜的受力状态，建立了悬臂梁式正负超磁致伸缩复合薄膜磁致伸缩过程中的力学模型、 复合薄膜梁的挠曲线方程和动力学方程，并对理论研究结果进行了试验验证，试验结果表明文中研究得到的理论方程、模型 与实际结果基本一致。可见研究结果将为超磁致伸缩薄膜器件的原理、结构等方面的设计、计算提供重要的理论依据和研究 基础，将进一步推动超磁致伸缩薄膜器件在工程中的应用。 关键词：超磁致伸缩薄膜；驱动器；动力学模型 中图分类号：TG14 文献标识码：A 0 前言 超磁致伸缩薄膜 （GMF ）是指用非磁性基片（通常为硅、玻璃、铜、聚酰亚胺等）和体磁致伸缩靶材， 采用闪蒸、离子束溅射、电离镀膜、直流溅射、射频磁控溅射等方法进行镀膜，使其在基片上形成具有磁 致伸缩特性的薄膜材料，当有外加磁场时，薄膜会产生变形，带动基片进行偏转或弯曲，从而达到驱动目 的。按溅射合金材料的磁致伸缩特性和作用方式，可将超磁致伸缩薄膜分为：单层正磁致伸缩薄膜，单层 负磁致伸缩薄膜，正负磁致伸缩材料共同作用的双层间接耦合式超磁致伸缩薄膜。其中，间接耦合式超磁 致伸缩复合膜的磁致伸缩应变、能量密度以及高频响应等性能均优于单层磁致伸缩薄膜，使其成为近年来 超磁致伸缩薄膜领域研究的新亮点，并在微驱动领域的探索应用中显示出良好的前景。以超磁致伸缩薄膜 为驱动元件构成的驱动器件具有结构坚固、体积小、精度高、重量轻；性能稳定，可靠性高，可在恶劣条 件下工作；能耗低、响应快、灵敏度和工作效率高；多功能化和智能化，既能感觉环境又能控制环境，并 且有自我诊断功能；以及适于大批量生产，制造成本低廉特点，使其在很多领域中得到广泛的应用[1-3]，如 精密加工、微流体控制、医学领域、微操作系统与微机器人单元、信息技术、航空航天、汽车工业等。超 磁伸缩薄膜器件在诸多领域得到广泛应用的同时，开辟了 薄膜材料新的应用领域和方法，促进了材料科 学界针对不同应用领域进一步深入研究各种性能的超磁致伸缩薄膜。可见，研究、了解能用于开发出具有 优异性能的现代微机械和微机电系统器件的超磁致伸缩薄膜材料相关性能和技术，推动材料本身及其器件 在诸多工业领域中应用，具有重要的学术价值和社会价值。 超磁致伸缩薄膜及其驱动器的优越性能已引起学术界和工业界的广泛关注。对磁-机械耦合机理、磁致 伸缩力学模型及静、动态特性进行系统的理论分析与研究，是超磁致伸缩薄膜在实际工程中推广应用的关 键基础，是设计超磁致伸缩薄膜器件的重要理论依据。正负超磁致伸缩复合薄膜是近年来新发展起来的一 种新型的薄膜材料，目前还未见对正负超磁致伸缩复合薄膜及其执行器的磁致伸缩受力状态、动力学方程 及系统特性等方面的进行系统研究的文献报道。本文将系统地研究超磁致伸缩薄膜驱动器工作机理，通过 对悬臂梁式超磁致伸缩薄膜驱动器中薄膜的力学特性分析，建立正负超磁致伸缩复合薄膜磁致伸缩过程中 的力学模型、复合薄膜梁的挠曲线方程和动力学方程，并通过试验来验证研究的理论结果。研究结果将为 超磁致伸缩薄膜器件的原理、结构等方面的设计、计算提供重要的理论基础，将进一步推动超磁致伸缩薄 膜器件在工程中的应用。研究结果将为超磁致伸缩薄膜器件的原理、结构等方面的设计、计算提供重要的 理论基础，将进一步推动超磁致伸缩薄膜器件在工程中的应用。 基金项目： 国家自然科学基金资助项目50775021）；辽宁省科学技术基金资助项目）； 新世纪优秀人才支持计划资助项目（NETC-04-0265 ） 1 薄膜式超磁致伸缩驱动器中薄膜的受力机理 磁致伸缩的本质是磁能和机械能之间的转换过程，弹性刚度是衡量材料机械能量转换能力的关键参 数，所以在研究正负超磁致伸缩复合薄膜的动态特性之前，分析计算薄膜的有效弹性刚度是很有必要的。 可以将本文研究的正负超磁致伸缩复合薄膜视为由正、负磁致伸缩单层膜和基片组成的复合梁。在假 设这三种材料的最大应力均不超过其比例极限的情况下，可以用当量宽度法[4]求解正负超磁致伸