xps表征ar＋刻蚀对pet表面结构的损伤【精选】.pdfVIP

72 分 析 仪 器 2014年第6期 XPS表征 Ar+刻蚀对 PET表面结构的损伤 蒋 栋 张 帆。 (1．华东理工大学分析测试 中心 ，上海 200237；2．华东师范大学化学系 ，上海 200241) 摘 要 ：Ar刻蚀应用于聚合物的深度剖析中时，通常会造成聚合物表面结构的损伤 ，从而无法得到真实的聚 合物结构信息。本实验结合 x射线光电子能谱(XPS)分析测试技术 ，以聚对苯二 甲酸乙二醇酯 (PET)为对象，研 究 Ar刻蚀对其表面结构 的损伤 ，以及 Ar刻蚀参数对其损伤作用的影响 。 关键词 ：Ar刻蚀 ；PET；XPS D0I：10．3936／j．issn．1001—232x．2014．06．016 XPScharacterizationofdamageonsurfacestructureofPETbyAr etching．JiangDong ，ZhangFan。． (1．CenterofAnalysisandTest，EastChinaUniversityofScienceandTechnology，Shanghai200237； 2．DepartmentofChemistry，EastChinaNormalUniversity，Shanghai200241，China) Abstract：whenAr etchingisappliedinthedepthprofilingofpolymers，italwaysinducessomedam— ageonthesurfacestructureofpolymers，anditisunabletogetthetrueinformationaboutthestructureof polymers．Thedamageonthesurfacestructureofpoly(ethyleneterephthalate) (PET)byAr etchingwas studiedwithusingX—rayphotoelectron spectroscopy (XPS)analysis，andtheinfluenceoftheparameters 0fAr etchingonthedamageonthesurfacestructureofPET iSalsodiscussed． Keywords：Ar etching；PET；XPS Ar刻蚀是指利用具有一定能量的Ar轰击固 面结构的情况 ，从而使 聚合物 的深度剖析变 的非常 体材料表面，对材料表面进 行剥离 ，暴露 出下面 的 困难_5]。XPS是一种表面灵敏 的分析测试技术 ， 原子层，从而达到获得固体材料深度信息的 目的。 主要用于确定 固体材料表面的元素组成 、元素 的化 Ar刻蚀的工作过程主要是将 Ar气通入到离子源 学态及相对含量等信息 ，广泛应用于各种有机和无 放电室中，使其 电离成离子并进行加速。具有一定 机固体材料 的表面分析测试 中[7 。实验结合 能量 的Ar束射 向固体材料表面撞击材料表面原 XPS分析测试技术，研究 Ar刻蚀对 PET表面结 子 ，使材料表面原子发生溅射 ，从而达到刻蚀 目的， 构的损伤，以及 Ar刻蚀的束流强度和离子能量对 是一种损伤性的方法。 其损伤作用的影响。 将 Ar刻蚀与多种表面分析测试手段相结合 ， l 实验 可以对固体材料进行深度剖析，从而得到材料的深 度信息 ，如 X射线光 电子能谱 (XPS)、俄歇 电子能 本实验所用 XPS能谱 仪为 ThermoScientific 谱 (AES)等[1]。Ar 刻蚀在诸如 SiO 、TiN等许 公司生产的ESCAIAB250Xi。X射线激发源为微 多无机材 料 的深 度剖析 方面得 到 了广泛 的应 聚焦单色化 AlK X射线源，X射线的光斑直径为 用 。但通常 Ar刻蚀中的Ar