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纳米加工机理若干问题的分子动力学研究 田臻梁迎春 (略尔滨工业大学精密工程研究所) 摘要分子动力学模拟在研究纳米机械加工机理方面走着非常重要的作用。本文介绍了 分子动力学的基本概念和基本理论，重点研究了原子问作用力的计算以及运动方程算法的确 定。介绍了国外应用分子动力学模拟研究超精密加工机理取得的成果，井分析了夸后的发展 趋势。 一、应用分子动力学研究纳米加工机理的意义 在超精密加工中．特别是进行纳米加工时，加工发生在很小的区域，该区域只包含数个原 子层或数百个原子层。加工过程在本质上是原子的运动，工件材料应看作是原子或分子的集 合体，对加工过程采用建立在传统连续介质力学基础上的切削理论来解释显然是不舍适的。 此外，当被加工工件的精度达到纳米量级时，会产生一系列介观物理现象，如：微磨损、量子尺 寸效应等。对这些现象必须从介观和微观的角度加以研究。 实现稳定的纳米机械加工，关键是要突破目前的切削极限。有关文献介绍的是在高精密 机床上进行的切削实验验证．使用金刚石车刀可以实现数个纳米的切削厚度。然而由于对纳 米切削机理等问题还不是很清楚，在一定程度上限制了超精密加工精度进一步提高。 由于超精密加工过程的可控性和观察测量技术的限制．超精密加工过程中的实验、计算和 分析不可避免地存在着很多困难，而分子动力学模拟刚完全可以克服这些困难。分子动力学 模拟(Molecufar Dynam斌Simulation)用于计算以固体、液体、气体为模型的单个分子的运动情 况，它是联系微观世界与宏观世界的一种强有力的计算机模拟方法。 二、分子动力学基本原理和算法基础 分子动力学模拟将连续介质看成为由N个原子或分子组成的粒子系统，各粒子之问的作 用力可以通过量子力学势能函数求导等方法求出，忽略量子效应后，运用经典牛顿力学建立系 统中粒子运动方程(系统粒子运动数学模型)，通过数值求解运动方程得到粒子在相空问的运 动轨迹。然后由统计物理学原理得出该系统相应的宏观动、静态特性。 1．分子动力学模拟发展简史 分子动力学模拟最初是1955年由著名的物理学家Fermi提出的，在这早些时候，一些计 算机模拟的基本技术(如周期性边界条件、截断势等)也已经被提出。Verlet绘出了Lennard一 ]ones系统相圈．并提出了著名的V目k算法，这使得分子动力学的算法更加有效。 Theo- 70年代以后．分子动力学得到了蓬勃发展，涨落耗散理论(FIuctuatfon Dissipation ry)、密度泛函理论(Density-FunctionTheory)等新理论纷纷被引入分子动力学，同时它又与 统计物理等学科结合，使得经典分子动力学得到充实．新的算法不断涌现，别了80年代末，它 的体系逐渐完着。分子动力学大体上可以分为：平衡态分子动力学(EquflibriurnMolecularDr． Molecular namlcs)、非平衡态分子动力学(Non—equilibriumDyr删cs)、从头计算分子动力学 ·5· Molecular Molecular Sere Dynamics)。到了 (AbInitio I：枷amics)大规模分子动力学(Larxe 90年代，计算机硬件的飞速发展，使得分子动力学得到了更加广泛的应用。 2．分子动力学基本理论基础 (1)采样定理 系统的粒子数是成千上万的，进行分子动力学模拟时只是对其中一部分进行模拟，而且仿 真也只持续几个皮秒。仿真结果就可以代表系统的宏观特性，它的理论依据便是分子动力学 采样定理。 分子动力学中的采样定理是由统计力学轨道分析统计、采样统计等理论得出：