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第29卷 第6期 应用光学 Vo1．29 No．6
2008年 11月 JournalofAppliedOptics NOV． 2008
文章编号 ：1002—2082(2008)06—1004—05
非球面碳化硅反射镜的加工与检测
张 峰，范 镝 ，李锐刚，郑立功，高劲松 ，张学军
(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，吉林 长春 130033)
摘 要 ：为了获得高精度非球面碳化硅 (SIC)反射镜 ，对非球面碳化硅反射镜基底 以及改性后碳
化硅反射镜表 面的加工与检测技术进行 了研 究。介绍 了非球面计算机控制光学表面成型
(CCOS)技术及FSGJ一2非球面数控加工设备 。采用轮廓检测法和零位补偿干涉检测法分别对碳
化硅反射镜研磨和抛光阶段 的面形精度进行 了检测，并采用零位补偿干涉检测法及表面粗糙度测
量仪对最终加工完毕的碳化硅反射镜 的面形精度和表面粗糙度进行检测。测量结果表 明：各项技
术指标均满足设计要求，其中非球面碳化硅 (SiC)反射镜 实际使用 口径 内的面形精度 (RMS
值)为0．016,t(一0．6328 m)，表面粗糙度 (RMS值)为0．85nm。
关键词：非球面；碳化硅反射镜；计算机控制光学表面成型；表面改性
中图分类号：TN205 文献标志码：A
Fabricationandtestingofasphericsilicon carbidemirror
ZHANG Feng，FAN Di，LIRui—gang，ZHENG Li—gong，GAOJin—song，ZHANG Xue—jun
(ChangchunInstituteofOptics，FineMechanicsandPhysics，Chinese
AcademyofSciences，Changchun130033，China)
Abstract：Inordertomanufactureapreciseasphericsiliconcarbide(SIC)mirror，thefabrication
andtesting technologiesforthesubstrateoftheSiCmirrorand thesurfaceofthemodifiedSiC
mirror were studied． The technique of the computer—controlled optical surfacing for
manufacturingasphericmirrorandtheFSGJ一2numerically—controlled machineforprocessing
asphericsurfaceareintroduced．Themethodsofcontourtestingandnulltestingwereadopted
respectivelytomeasurethesurfaceaccuracyofasphericmirrorwhileSiC mirrorsweregrinded
andpolished．ThesurfacefigureandroughnessofthefinalasphericSiCmirrorweretestedwith
nulltestingandsurfaceroughnesstester．Thetestingresultsindicatethatallthespecifications
meettherequirementsofdesign．Thesurfaceprofileaccuracy oftheasphericSiC mirroris
0．016aRM SandthesurfaceroughnessofthemirroriS0．85nm RMS．
Key words：aspheric surface；silicon carbidemirror；computer—controlled opticalsurfacing；
St1rfacemodifj
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