详查相机隔振平台设计和动力特性分析.pdfVIP

详查相机隔振平台设计 与动力特性分析 周旭熊家新杨毅玲朱曼利翟松涛 忠髅二挥暖计研究总完．北宗[00028 摘要 本文简要阐述了详查相机隔振甲台的设计及其动力特性分析：导出，振动 传递函数，对隔振平台的隔振性能进行了定量描述。 。 关键词隔振平台， 隔搬设计，动力特性，分惭 1 前言 详奄相机隔振平台系统属超大型精密设备的防微振系统，对隔振性能要求 高，且所处环境的自然下扰振源和人工干扰振源比较复杂．因此，我们对该防 微振系统进行了较深入的研究，完成了隔振设汁及其动力特性分析。 要求隔振系统固有频率不大于4Hz，在当地干扰环境下，平台台面振动速 度不大于0．05mm／s。平台承载7t，工作台面尺寸如图1所示。 一—1lii_～…一 图1 隔振平台工作台面尺寸 2隔振设计 隔振平台系统由光学设备、平台、宁气弹簧隔振装置和气源等部分组成； 隔振系统简图如图2至图5所示。由于平☆j：光学设备重7t，为减小光学设备 重心的轻微移动对隔振系统动力特性的影啊，平台自重设计为33．5 c，综合考 虑设备成本及空气弹簧产品标准，隔振装置选用JYM一20型窀气弹簧22个，则 每个空气弹簧承蘑1804kN．根据空气弹簧产品标准可知，每个弹簧垂直向剐 比取0．11，空气弹簧侵用压々为0．44MPa。 3数学模型 3 1该隔振系统具有史撑点多．隔振面大等特点。但是．根据仞步双计的中台 结构(详见、、『，台施!翟)．我¨刊用有限无法进{j了刚度分析．认为平台育足 够的刚性，平台台嘶的振动叫‘以不按连续振r南系统而敝刚体进行“耳，墨此平 台的振z曲只有6个自由度。 3．2当空气弹簧的刚度中心与隔振体的重心不茕合酊，参圮囝6，嫩杯系的原 点0为隔振体重心，P为空气弹簧的刚度中心，也卵守气弹簧作用于隔振体的 台力点：罔中Fx．Fy、h分别表示空气弹簧作用力存备‘p标轴【r|的分力，从 圈6中可以清楚地看H』，Fx的作用不但使隔振『丰J。生x蚋阿的半动．还将产 生绕Y轴和绕z轴的转动，1j 0：J作用将产生v轴旧的半动、绕x铂受绕z 轴的转动．rz将产牛z轴同的平动、绕x轴及绕v轴的#动：闰此，在这种 圈② 图@ 223 图④ j’ i一 。．i 。、 ≯砖z*r／， 。芋贡亍一- ／ 图⑤ 图⑤ 图⑦ 情况下，隔振体的6个自由度将构成}‘分复杂的耦台振动，其动力特性难以控 制，尤其因为奉隔掘系统具有支撑点多、隔振向大等持点．必然无法得到较好 的隔振效果。因此，我们在布置宅气弹簧盱寸．力求使仝部空气弹簧构成的刚度 中心与隔振体的难心在同～条垂直线上．如图7所示，空气弹簧的刚度rl；心与 隔振体的重心尉在z轴i，在图4所示的xoy下面圈中窄气弹簧的刚度中心与 隔振体的重心重合；这样，z轴方向上的、F动以及绕z轴的转动均为非耦合振 动，丽x轴向的平驯与绕Y轴的转动相耦合，y轴向的平动与绕x轴的转动相 耦台，隔振系统6个自由度的振动可以用两个梢互独立的单自由度系统和两个 双自由度祸合系统来进行描述。1芏设汁隔振、F台结构时，横截面设成T形，以 尽量减小在Z轴上空气弹簧的M0度中心与隔振体的重心问的距离，也即图3与 图5中的s值，从而减小耦台振功的影响。 4动力特性分析