基于MEMS加速度传感器的位移检测系统.pdfVIP

2014年 第33卷 第7期 传感器与微系统(TransducerandMicrosystemTechnologies) 79 基于 MEMS加速度传感器的位移检测系统 李光伟，董林玺 (杭州电子科技大学 电子信息学院，浙江 杭州 310018) 摘 要 ：为了实现对物体运动位移 的检测，设计 了一种 以国产 高精度 MEMS电容式加速度传感器 MSCA3002为核心，24位高精度A／D转换器ADS1255，高性能ARM处理器LM3S2B93为主控制器的位移 检测系统 ，并详细给出该系统的硬件电路及其软件算法设计。系统将传感器检测到的物体运动的加速度 ， 经过积分算法转换为物体运动位移。实验结果表明：系统采样精度高、速度快、误差小，A／D转换器对加 速度信号的检测精度能达到0．4％，积分后对位移的测量精度能控制在3％左右，很好地实现 了对运动位 移的检测。 关键词：微机电系统；传感器；加速度；位移；算法 中图分类号：TN609 文献标识码 ：A 文章编号：1000-9787(2014)07-0079-03 Displacementdetectingsystem basedonMEM S acceleration sensor LIGuang—wei，DONG Lin-xi (CollegeofElectronicInformation，HangzhouDianziUniversity，Hangzhou310018，China) Abstract：Inordertorealizedetectionofmotiondisplacementofobjects，adisplacementdetectionsystem is designed，whichusesdomesticcapacitiveMEMSacceleration sensorMSCA3002asacore，24-bithighprecision A／Dconve~erADS1255 andARM processorLM3$2B93 asmaincontroller．Thehardwarecircuitandsoftware algorithm designofthesystem areintroducedindetail．Theacceleration detected bysensoristmnsformed to motiondisplacementofobjectthroughintegralalgorithm．Theexperimentalresultsshowthatthesystemhashigh samplingprecision，highsamplingrateandsmallerror，detectionprecisionofA／D conve~ertoaccelerationsignal canreach0．4 ％ ，and displacementmeasurementprecisioncanbecontrolledaround3％ afterintegral，which realizesdetectionofmotiondisplacementverywel1． Keywords：MEMS；sensor；acceleration；displacement；algorithm 0 引 言 检测。 MEMS加速度传感器具有精度高、灵敏度高、功耗低、 1 硬件电路设计 体积小和线性度好等优点…，被广泛应用于振动位移检 本位移检测系统采用 MEMS加速度传感器实现对物 测 、系统定位、机械测量等领域。如文献 [2]分析了MEMS 体运动加速度的采集 ，并将产生的模拟电压信