基于迈克尔逊干涉的傅里叶变换散斑形貌测量技术.pdfVIP

第29卷 第6期 应用光学 Vo1．29 No．6 2008年 11月 JournalofAppliedOptics NOV． 2008 文章编号 ：1002—2082(2008)06—0874—04 基于迈克尔逊干涉的傅里叶变换 散斑形貌测量技术 马志芳 ，高秀梅 ，孙 平 (1．山东师范大学 物理与电子科学学院，山东 济南 250014； 2．济南市铁道职业技术学院 电气工程系，山东 济南 250013) 摘 要 ：提 出了电子散斑干涉载频调制测量物体形貌的方法。采用典型的迈克尔逊干涉光路，将 物体偏转一微小角度 (等效为物面与参考面间形成空气楔)产生等厚干涉，可在物体的表面引入 包含物体高度信息的载波干涉条纹。用CCD采集该载波条纹图，利用傅里叶变换法可解调 出物体 高度的位相信息，从而实现物体的形貌测量。介绍 了电子散斑干涉载频调制测量物体形貌的原理 ， 并进行了实物测量，给出了实验结果。由于该方法采用散斑干涉方法测量物体形貌 ，所以具有灵 敏度高的优点。 关键词 ：物理光学；电子散斑干涉；形貌测量；傅里叶变换 ；迈克尔逊干涉 中图分类号 ：TN206；0348 文献标志码 ： A Fourier-transform speckleprofilometrybasedon M ichelson interference MA Zhi—fang ，GAO Xiu—mei，SUN Ping (1．CollegeofPhysicsandElectronics，ShandongNormalUniversity，Jinan250014，China； 2．DepartmentofElectricalEngineering，JinanRailwayPolytechnic，Jinan250013，China) Abstract：A method ofshapemeasurementbased on ESPIcarrier—frequency modulation is presented．InthetypicalsetupofMichelsoninterferometer，turningthetestedobjectasmall anglegeneratesanairwedgebetweentheobjectplaneandthereferenceplane．Thewedge produces equalthickness interference fringes． A carrier fringe pattern containing height informationisformedontheobjectsurface．ThecarrierfringepatterniscapturedbyaCCD camera．ThephaseoftheobjectcanbederivedbyFouriertransformandtheshapemeasurement isrealized．Theprincipleofthemethod isdescribedandtheexperimentresultsaregiven．The results indicate that the method has thevirtueofhigh sensitivity because specklepattern interferometryisused． Key words： physical optics； electronic speckle pattern interferometry (ESPI)； shape measurement；Fouriertransform ；M ichelsoninterference 引言