FIB%2bSEM双束系统在地学领域的应用现状及发展趋势.pdfVIP

FIB+SEM双束系统在地学领域的应用现状及发展趋势 刘以然lJ2，王世杰3，李雄耀l，刘秀明3 (1．中国科学院地球化学研究所月球与行星研究中心，贵州贵阳，550002； 2．中国科学院大学，北京，100049； 3．中国科学院地球化学研究所环境地球化学国家重点实验室，贵州贵阳，550002) 双束系统是指载有扫描电镜(SEM)的聚焦离子束(FIB)，它不仅同时具备FIB或SEM 的功能，还能发挥电子束高空间分辨率和聚焦离子柬精细加工的优势。双束系统的主要功能 包括常规SEM观察分析，制备TEM超薄切片1,2，截面样品制备与分析，依托EDS／WDS分 析样品成分特征，依托EBSD分析样品结构与形变特征等。随着技术的发展，双束系统的性 能不断提升，功能也日趋完善和丰富。例如，除ZEISS公司的Auriga系列外，F日公司的Scios 系列采用了不漏磁电子镜筒的设计，从而使该系列双柬系统适用于磁性样品的分析与制备工 作：例如，随着离子镜筒技术的改进，最低加速电压以及最小离子束流的持续降低，离子束 的加工精度得以不断提升；再例如，三维重构软件的使用，使图像、EDS以及EBSD数据能 够有机地整合起来，从而能够直观了解样品的立体形貌、成分以及晶体结构特征。 目前，国内安装了约100套双束系统，其中大部分应用于材料学领域，仅有少数几台应 用于地学领域。然而，随着我国地球科学研究的进展，尤其是地外样品研究的深入，双束系 统必将具有广阔的应用前景。这是因为，地外样品具有珍贵量少的特点，往往要求在尽可能 少的样品消耗的前提下，获取尽可能多的研究结果。双束系统功能完备，不仅能够对同一样 品完成SEM、EDS／WDS、EBSD3等分析，一次性获得样品的形貌、成分与结构信息，还能够 利用离子柬进行精细加工，进行截面样品4，透射电镜样品制备以及三维重构分析5,6,7，可 以满足地外样品分析样品消耗量少并获取尽可能多研究结果的要求。 随着技术的发展，双束系统还会在以下方面获得持续的发展：1．持续研发结合He、Ne 以及Ga三种离子的三束系统，发挥三种离子在加工精度与速度方面的特长，使样品加工功 能更加完善；2．扫描透射功能不断完善，获取更加高精度的形貌8、成分与结构信息，部分 取代透射电镜的功能；3．软件设计更加人性化、自动化，功能也更加强大，更好地实现三维 重构等高难度操作。 参考文献： eta1．2014．Deformationmechanismsand of in 【l】Amiguet,Elodie rheologyserpentines andinnature．GEOCHMICAETCOSNl0CHn压ICAACl’A．Vol119．6．4640-4655 experiments and of in cta1．2014．Deformationmechanisms [2]Amiguct,Eiodic rheologyserpentines andinnature．GEOCHIMICAETCOS～【oCHMICAACl’A．Vol119．6．4640-4655 experiments 130 ofhexavalechromium eta1．2014．Reductionandimmobilization bymicrobially [3】Bishop 133．186·203 reduce minerals．GEOCHIMICAETCOSMOCHIMICAACTA．Vol Fe．bearingclay atthe mica． eta1．2014．Dirc