微坑超声复合微细加工试验研究.pdfVIP

第 25卷第 2期 徐 州 工 程 学 院 学 报 (自然 科 学 版 ) 2010年 6月 Vo1．25No．2 JournalofXuzhou InstituteofTechnology (NaturalSciencesEdition) JUN．2010 微坑超声复合微细加工试验研究 张 磊 ，王 占和 ，朱永伟 (扬 州大学 机械工程学院，江苏 扬州 225127) 摘 要：提出用超声复合电加工方法制作微小结构，并分析微细超声、超声复合 电火花、超声复 合 电解微细加工机理；用微细放电组合技术制作 多种截形微细工具 电极；完善超声复合 电加工试验 系统，进行多种材料、形状微结构超声复合加工试验．结果表 明：超声复合加工是制作硬脆材料微结 构的有效方法；超声复合 电火花加工金属材料微结构有 良好的精度及稳定性；超声复合 电解加工具 有效率高、精度好的技术优势． 关键词：超声加工；微细加工 ；电火花；电解 中图分类号：TB383 文献标志码 ：A 文章编号 ：1674—358X(2O10)02—0022—07 现代工业的发展 ，对产品小型化、微型化的要求 日益迫切．微结构制作是微型机械实用化的技术关键．传 统机械加工方法已很难实现精密微细零件的特殊加工要求 ，特别是高强度 、高硬度、高韧性、高耐磨性的关键 零部件须采用微细特种加工方法口 ]．本文设计 了多种截面形状 的微细工具电极 ，对微结构进行超声复合 电 加工机理的试验研究． 1 超声复合微细加工原理分析 1．1 微细超声加工 微细超声加工在成形工具和工件之间加入液体和微细磨料混合的悬浮液 ，工具以微小压力接触工件 ，工 具头作纵向超声振动 ，迫使液体中悬浮的磨粒以很大的速度和加速度持续撞击 、抛磨被加工表面 ，正负交变 的液压冲击迫使工作液钻入被加工材料的微裂缝处 ，加剧 了机械破坏及表面材料的剥落脱离 ；同时，工具端 部的超声振动使磨料悬浮液产生 “空化”现象，强迫工作液在加工间隙中循环流动 、更新 ，并带走被粉碎的微 细产物．微细超声加工是硬脆材料微结构制作的一种有效方法． 1．2 微细超声 电火花复合加工 在电火花放电加工过程中，由于电场、介质、工件与电极表面状态变化 ，间隙物理过程很复杂 ，经常发生 短路 、电弧放电，使有效的火花放电比率减少，从而降低了电火花加工效率 ；此外 ，由于表面张力、内聚力和固 液材料之间的粘接力等作用 ，蚀除材料不能及时排 出加工 区，使加工效率进一步降低 ，电火花加工精度及表 面质量变差． 如图 1所示 ，电极和工件接入直流 (脉冲)电压，以一定微压力接触 ，之间加入含微细磨粒的具有绝缘性 能的工作介质 ，如无水乙醇 ，工具 电极引入超声频振动，将产生脉冲性火花放电．电极与工件间存在最小间隙 艿 ，约为单个磨粒直径 ，由于最小间隙的作用 ，可有效避免放 电短路．当电极与工件之间的间隙小于 时， 产生微细电火花放 电进行加工．在火花放电的间隙，超声的空化和泵吸作用可有效、及时去除产物 ，加速工作 液循环 ，改善间隙放电条件 ，有效地避免电弧放电，提高有效脉冲利用率 ，改善加工精度 、表面质量．此工艺适 用于硬韧金属材料微结构加工．采用高频脉冲电源 ，放电频率下降，超声作用效果更明显，有利于提高加工精 度与表面质量 ，但效率有所下降． 微细放电加工过程及精度稳定性好 ，但去除机理是熔溶 、汽化、爆炸抛除，存在表面热影响层 ，且局部放 收稿 日期 ：2010—03—09 基金项 目：江苏省 自然科学基金项 目(BK2009194) 作者简介 ：张 磊(1983一)，男，辽宁锦州人，硕士研究生，主要从事特种加工新技术研究 · 22 · 张 磊 ，等 ：微坑超声复合微细加工试验研究 放电ant区间 电极 、 ／广＼l № 匿 ／1．一 ／ ：