计算机辅助装调的代理模型方法.pdfVIP

第42 卷第3 期 红外与激光工程 2013 年3 月 Vol.42 No.3 Infrared and Laser Engineering Mar.2013 计算机辅助装调的代理模型方法 员,2 1,2 张东阁 ，傅雨田 (1. 中国科学院红外成像与 测技术重点实验室，上海 200083 ； 2. 中国科学院上海技术物理研究所，上海 200083) 可在较大失调范围内进行更为准确的求解。首 摘 要 用代理模型实现了一个新的失调量求解方法， 先分析了基于灵敏度矩阵方法求解失调量的原理和局限性，提出了使用代理模型求解失调量的设想。 在代理模型方法中，设定光学元件各个自由度对应的失调范围，对各自由度失调量进行大量的蒙特卡 洛仿真得到充足的样本模型。然后从样本模型中提取失调量和残余像差数据，其中残余像差数据用 Zernike 系数表示。对比三种不同的代理模型，选择用人工神经网络表示失调量与残余像差之间的非 线性映射关系或统计关系。最后用一个离轴三反射系统模拟装调的例子，说明了如何建立代理模型， 并根据当前系统的状态进行调整，表明了使用代理模型进行辅助装调的实用性和可靠性。 ； ； ； 关键词 计算机辅助装调 代理模型 人工神经网络 离轴三反射 中图分类号 V248.3 ；TP391.7 文献标志码 A 文章编号 1007-2276(2013)03-0680 -06 Surrogate model used for computer aided alignment Zhang Dongge员,2, Fu Yutian员,2 (1. Key Laboratory of Infrared Detecting and Imaging Technology , Chinese Academy of Sciences , Shanghai 200083, China; 2. Shanghai Institute of Technical Physics , Chinese Academy of Sciences , Shanghai 200083, China) Abstract: As the supplement for the current computer aided alignment method for the advanced optical system, surrogate model was proposed to represent the intricate relationship between the misalignment parameters and the aberration coefficients, so a new solution method of the misalignments could be carried out. At the beginning, the principle of the sensitivity matrix method was analyzed to show its limitation, and then the surrogate model was introduced as a ne