双源共蒸法制备非均匀膜的模型分析.pdfVIP

第54卷第1期2005年1月 物 理 学 报 1000．．3290／2005／54(01)／0295．．07 ACTAPHYSICASINICA ⑥2005 Chin．Phys．Soc． 双源共蒸法制备非均匀膜的模型分析 沈自才1’2’ 王英剑1’ 范正修1’ 邵建达1’ 1’(中国科学院上海光学精密机械研究所，上海201800) 2’(中国科学院研究生院，北京 100039) (2004年5月31日收到；2004年7月16日收到修改稿) 探讨了双源共蒸法制备非均匀薄膜的堆积模型，并给出了非均匀膜的沉积速率与两种膜料沉积速率的关系． 当两种膜料的沉积单分子大小近似相等或者小分子沉积速率远大于大分子时，可以近似认为混合介质膜的沉积速 率等于两种膜料的沉积速率之和；当两种膜料的沉积单分子大小不满足近似相等且两种膜料的沉积速率可比较 时，非均匀膜的沉积速率不能简单地用两种膜料的沉积速率之和来近似，它将随两种膜料沉积单分子的大小不同 和沉积速率比不同按照不同的规律变化，并在文中给出了不同情况下的非均匀膜的沉积速率变化规律． 关键词：非均匀膜，共蒸法，模型 PACC：6855，8115G，81lOB 不同膜料的沉积速率，从而来实现混合介质膜的折 1．引 言 射率的逐渐变化哺]，但是通常是利用梯度模型等效 连续变化的渐变折射率薄膜n’8]．而对多元共蒸法制 渐变折射率薄膜，又称为非均匀膜，其主要特 备渐变折射率薄膜，为了简单考虑，一般假设总的沉 征为沿着膜层表面的法线方向折射率连续变化，而 积速率不受单分子体积大小的影响，为各膜料的沉 在垂直于法线的水平方向上折射率保持不变¨1．传 积速率之和，从而带来很大的误差． 统光学薄膜是基于分层介质理论模型来设计的，但 杨宁等凹101对薄膜生长的动力学模型已经进行 是，由于膜层之间存在界面，界面的跃变特性及其不 过一些探讨．本文以双源共蒸法为例，不考虑薄膜沉 稳定性，使得某些特定的光谱性能很难实现，且膜层 积的动力学过程，从不同膜料的单分子体积大小之 间的界面是形成损伤或性能退化的薄弱环节；而非 比和沉积速率之比人手，建立了不同沉积模型7，来探 均匀膜既消除了膜层间的界面，又极大地增加了膜 讨膜料单分子体积比不同的情况和沉积速率之比不 系设计的调控度，因此，越来越受到科研工作者的重 同的情况下，总的沉积速率与各膜料的沉积速率的 视并得到了应用． 关系，从而为设计和制备渐变折射率薄膜提供理论 渐变折射率薄膜的研究起步虽然较早，但是与 上的指导，并对实现计算机自动控制具有重要意义． 均匀薄膜相比，研究的并不是很多．在应用上，目前 主要是用在减反射膜、太阳能玻璃吸收膜、啁啾介质 2．双源共蒸法制备非均匀膜的制备 激光镜心’引和rugate滤光片’4’51等． 机理 非均匀薄膜的制备方法可以分为三大类：一是 多源共蒸法，即同时从几个源蒸发不同的膜料，通过 在利用双源共蒸镀法制备渐变折射率薄膜时， 不同膜料蒸发速率的变化来实现混合介质膜的折射 可采用高、低折射率两种膜料，通过连续改变沉积膜 率的渐变；二是反应沉积法，即通过逐渐改变反应沉 料的沉积速率比，进而改变沉积混合介质膜中的不 积条件来实现折射率的渐变；三是沉积参数(如沉积 同膜料的分子数密度比，从而实现混合介质膜的折 温度，基底温度，气压)的变