超长导轨直线性试系统研究.pdfVIP

摘 要 基于超长导轨测试及调整系统的直线度检测的需要，本文详细论述 了超长导轨直线性检测系统的综合系统设计方案、仪器研制方案及其测 试方案。文章首先简要地分析了激光自身漂移、大气湍流等影响激；屯准 直精度的主要因素，然后对系统的激光准直方案进行论证，并确定了无 衍射光束的生成方案、高精度自动安平系统的结构方案，最后以CCD为 接收器件，通过计算机图像处理，完成对轨道直线性的测量。理论分析 与计算表明，测试系统所采取的方案大大地提高了光束的准直精度，从 而提高了系统的测量精度。 关键词：直线性准直自动安平无衍射光束漂移大气湍流 Abstract the of Inthis authordiscussed design system， paper,the comprehensive in needofthe ordertomeetthe instrumentandmeasurement straightness measurementof and system， testingalignment super-lengthguideway indetail of orbit measurement developmentsuper-lengthstraightness system aS and factorssuch beamdrift At author sotnechief first，the analyzed light ofthe collimationin turbulencethat the 1aser atmospheric affectprecision brierThen．theauthorstudiedthe ofthelaser plan beamandautomatic1evel with last， nondiffracting systemhighprecision．At theauthor themeasurementofthe completed straightnessguidewa)7by thereceiverand Device)as usingCCD(ChargeCoupled computerimaging the