薄膜电子第1章详解.ppt

● 因v、n、D0、L等均为正值，由式（1-31）可知：PL/Pu总是大于1的，此比值称为扩散泵的压缩比。 由式（1-31）可知：如果蒸气流速 v 和扩散长度 L 愈大，以及气体分子的扩散系数 D 愈小，由此喷嘴所产生的压缩比就愈高，则在一定的前级压强下经扩散泵抽气后所得的极限压强就愈低。 ●由于Pu与前级泵压强 PL 成正比，所以为了提高扩散泵的极限真空，选配性能好的前级泵也十分重要。 ●扩散泵与机械泵、真空室的配合，水冷挡板、液态冷阱等问题 * 3．分子泵与罗茨泵 当气体分子碰撞到高速移动的固体表面时，总会在表面停留很短的时间，并且在离开表面时将获得与固体表面速率相近的相对切向速率，这就是动量传输作用。 分子泵就是利用这一现象而制成的，即它是靠高速转动的转子碰撞气体分子并把它驱向排气口，由前级泵抽走，而使被抽容器获得超高真空的一种机械真空泵。分子泵的结构如图1-8所示。 分子泵的主要特点：启动迅速，噪声小，运行平稳，抽速大，不需要任何工作液体。 * 罗茨泵又称机械增压泵，它具有一对同步旋转的8字形转子的机械真空泵。它既应用分子泵的原理，又利用油封机械泵的变容原理制成。 罗茨泵的特点：转子与泵体、转子与转子之间保持一 不大的间隙(约0.1mm)，缝隙不需要油润滑和密封，很 少有油蒸气污染； 转子与泵体、转子与转子间没有摩擦，允许转子有较 大的转速(可达3000转/分)； 罗茨泵还具有启动快，振动小，在很宽的压强范围内 (1.33×102~1.33Pa)具有很大的抽速等特点。 罗茨泵的极限压强可达10-4Pa(双极泵)。罗茨泵必须和前级泵串联使用。 * * §1-4 真空的测量 为了判定和检定真空系统所到达的真空度，必须对其真空容器内的压强进行测量。但在真空技术中遇到的气体压强都很低，要直接测量其压力是极不容易的。 因此，都是利用测定在低气压下与压强有关的某些物理量，再经变换后确定容器的压强。当压强改变时，这些和压强有关的特性也随之变化的物理现象就是真空测量的基础 。 * 表1-6 几种真空计的工作原理与测量范围 * 1．热偶真空计 原理：利用低压强下气体的热传导与压强有关的原理 制成的真空计。 当压强较高时，气体传导的热量与压强无关， 只有当压强降到低真空范围 才与压强成正比。 热阻真空计- 利用测定热丝电阻值随温度变化的真空计称为 热阻真空计（图1-10）， 热偶真空计- 直接用热电偶测量热丝温度的真空计叫做热偶 真空计（图1-11）。 * * 电源加热灯丝产生的热量Q将以如下三种方式向周围散射，即辐射热Q1、灯丝与热偶丝的传导热量Q2及气体分子碰撞灯丝而带走的热量Q3。 即 Q = Q1+ Q2 + Q3 （1-36） 热平衡时，灯丝温度T为一定值。此时，Q1与 Q2为恒量，只有 Q3 才随气体分子对灯丝的碰撞次数而变化，即与气体分子数有关，或与气体压强有关。 压强愈高，气体分子数多，碰撞次数多，灯丝被带走的热量就多，灯丝温度变化就大。 * 2．电离真空计 原理：利用气体分子电离的原理来测量真空度。 根据气体电离源的不同,分为热阴极电离真 空计和冷阴 极电离真空计，前者应用极为普遍。 在稀薄气体中，灯丝发射的电子经加速电场加速，具有足够的能量，在与气体分子碰撞时，能引起气体分子电离，产生正离子和次级电子。电离几率的大小与电子的能量有关。电子在一定的飞行路途中与分子碰撞的次数（或产生的正离子数），与气体分子密度成正比，因为P=nkT，故在一定温度下，亦即比例于气体压强P。或者说产生的正离子数亦正比于压强P。因此，根据电离真空计离子收集极收集离子数的多少，就可确定被测空间的压强大小，这就是电离真空计的工作原理。 * 热阴极电离真空计测量范围 一般为10-1~10-6 Pa （见图1-13）。 在压强大于10-1 Pa左右时，虽然气体分子数增加，电子与分子的碰撞数增加，但能量下降，电离几率降低，所以当压强增加到一定程度时电离作用达到饱和，使曲线偏离线形，故测量的上限为10-1 Pa。 * 在低气压下（小于10 -6 Pa），具有一定能量的高速电子打到加速极上，产生软 X 射线，当其辐射到离子收集极时，将自己的能量交给金属中的自由电子，会使自由电子逸出金