斜坡电流测试应用与比较方法研究.pdfVIP

椒、测试与设备份 执勤ck:ag龟Testlllld 问IÎPID剧/~ doi: 10.3969/j. isso. 1∞3-353x.2010.05.013 斜坡电流测试应用与比较方法研究 简维廷，赵永，杨斯元，张荣哲 (中芯国际集成电路制造有限公司，上海 201203) 摘要:讨论了斜坡电流测试的相关参数如电流斜坡速率、步长及电流倍增速率对喇试结果去 穿电荷具有的严重影响。指出件放电流测试中各个参数的设定、影响及其相关性，使斜坡电流喇 试的结果具有可比较性。同时，讨论了由于斜坡电流测试本身的特性，击穿电荷具有非连续性， 针对击穿电荷的非连续性，提供了一种统计上的数据处理方法，并且根据工程上不同的定性比较 结果提供了不同的统计比较方法，可以对非连续的斜坡电流测试结果进行定贵的统计比辙。在产 品验证或生产线出现异常时，能够进行统，计上的比较，给出走贵的结果。据此能对生产线的稳定 性或异常事件对产品的影响给出明确的结论，为受影响的产品的处置提供定量的数据支持。这是 首次对斜坡电流测试批捞的统计定量分析。 关键调:隧道轧化属;斜坡电流测试;也流斜坡速率;也流倍增速且在;步长;统计比较 中圄份提号: TN406 文献标识码:A 文章编号: 1∞3-353X (2010) 05-例65-04 Application and Statistical Comparisoo Aoalysis 00 the J ramp Test Chien Weiting Kary, Zhao Yong Atman , Yang Siyuan Frank , Chang Venson ( Semiconductor Mα， 阳ifacturing lrúemω印刷1 Corporatwn , Shm啄hai 201203. China) Abstract: 啊le impacts of ramp rates , step times , and the F-factor to the charge breakdown (Qbd) io Jramp tests are studied and also comment the Jramp parameter settings and their mutual impacts 50 the Jramp test results can be compared. For the nonωcontinuity characteristic of Jramp tests. a statistical method using confidence limits Îs proposed to compare Jramp test data quantitatively. Thi5 proposed solution realize5 the possibility ωevaluate Qbd perfom阳lce with 50und statistical meaning and quantificational indices , which are especially important atφlalifications or when abnomtalities are found during mass productioo. It can gr咄tly help to make obvioU5 cooclusion regarding the proce5s stability 50 asωtake effective actions