机械镀Cu-Zn合金的研究.pdfVIP

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2016年3月 ·9· 电镀与环保 第36卷第2期(总第208期) 可知:金属微结构表面无明显缺陷。较为平整,反衬 等功能于一体,用于制作金属微结构的电铸装置。 出金属光泽。金属微结构良好的形貌质量表明微电 采用该装置开展电铸实验,获得形貌质量理想、厚度 铸空间内的传质状况理想。这归功于内部超声波振 均匀性较好的金属微结构。 荡与外部强制对流冲刷的协同作用,驱动电铸液对 参考文献 流交换,加快传质进程。 左敦稳,黎向锋.现代加工技术[M].北京:北京航空航天大学 出版社。2013. [2]李冠男,黄成军,罗磊,等.微电铸技术及其工艺优化进展研究 [J].微细加工技术.2006(6):1—5. [3]李永海.丁桂甫,毛海平.等.LIGA/准LIGA技术微电铸工艺 研究进展[J].电子工艺技术,2005(1):1-5. [4]JENSENJ,POCWIARDOWSKIP,PERSSONP0,eta1. 制备的金属微结构的表面形貌 Acoustic enhanced of streaming electrodepositionnickel[J]. Chemical Letters,2003,368(5):732—737. 选取截面不同位置测定金属微结构的厚度。结 Physics NILSONRH.GRIFFITHSSK.Enhancedby transport 果显示:不同位置对应的厚度差别较小,偏差介于容 acoustic in trench—like of streamingdeep 许范围内,反映出金属微结构厚度均匀性较好。 theElectrochemical Society.2002。149(4):286—296. 王星星,雷卫宁.姜博.微电铸层均匀性的影响研究[J].电镀与 4 结论 环保.2010.30(4):10—13. 收稿日期:2015一06一06 设计出一款集复合搅拌、精细过滤和自动控温 机械镀Cu—Zn合金的研究 onMechanicalofCu-Zn Study Plating Al

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