DRF-J45型镓单晶炉的开发与设计 The Development and Gallium Single Design of the DRF-J45 Crystal Furnace.pdfVIP

材料制备工艺与设备 电 子 工 业 专 用 设 苗 - DRF—J45型镓单晶炉的开发与设计 袁长路，李伯军，李 杰，李留臣 (江苏华盛天龙光电设备股份有限公司，江苏金坛 213200) 摘 要 ：当前镓提纯方法大部分采用电解法 ，电解法生产 出的镓晶体纯度不高，常常形成个别杂 质元素超标。为了提 高其晶体纯度 ，需采用晶体提拉法来进一步弥补并提升镓晶体提纯工艺方 法。从分析镓单晶炉生长的工艺特点出发 ，简要介绍镓单晶生长设备的设计思想以及新近开发设 计的新型镓单晶炉的机械结构及 电气控制系统 关键词 ：镓单晶炉；工艺特点；轴冷系统 ；机械结构 ；电气控制 中图分类号 ：TF806 文献标识码 ：A 文章编号 ：1004—4507(2012)07．0040—04 TheDevelopmentandDesignoftheDRF-J45 Gallium SingleCrystalFurnace YUANChang-lu，LIBojun，LIJIE，LILiucheng (JiangsuHuashengTianLongPhotoelectricCo，LtdJintan213200，China) Abstract：Currentlymostofthegallium purificationmethodusingelectrolysis，themethodtoproduce gallium crystalpurityisnothigh．Oftencauseexcessiveindividualimpurityelementsproblems．TObe abletoimprovethepuriyt ofcrystal，weusethecrystalpullingmethodtofurthertocompensatefor and enhancethegallium crystalpurificationprocess．Basedontheanalysisofthecharacteristicson growthofgallium singlecrystalfurnaceprocess，briefintroducethedesignideasandthenew module’S mechanicalstructureandelectricalcontrolsystemsoftheGallium singlecrystalgrowt hfurnace． Keywords：Gallium singlecrystalfumace；Processcharacteristics；Axialcoolingsystem；Mechanical structure：Electricalcontrol 镓是易熔合金的 良好组元 ，广泛应用于光 电 途 ，如 ：制取化合物半导体砷化镓 、磷化镓 [2,31等 ， 行业。纯镓及其易熔合金可作核反应堆的热交换 也是锗和硅 的掺杂元素。在微波器件领域 内，砷化 介质。由于镓的液态温度范围很大，随温度升高体 镓是最有前途的半导体材料。为此，我们研制开发 积膨胀均匀，可作高温温度计 [4]或防火信号装置 了DRF—J45镓单晶炉，主要用于镓 晶体生产 。通过 等。用镓铝合金代替水银制造医用紫外线辐射灯， 提拉法生长方式，将 晶体的纯度提高到半导体产 能改善医疗效果。生产半导体材料是镓的主要用 业使用级别 。 收稿 日期 ：2012—07—03 万方数据 ● 电 字 工 业 董 用 设 备 材料制备工艺与设备 镓单晶生长工艺特点 2 镓 单晶炉总体设计 1．1镓 的主要性能特点 按照镓单晶体生长条件 ，该设备 由3大部分 镓是银 白色金属