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19 减薄工艺参数 2.反应速率与反应温度的关系 图2.玻璃在HF酸中反应速率与反应温度之间的关系 20 减薄工艺参数 3.反应速率与HF酸浓度的关系 图3.玻璃在HF酸中反应速率与HF酸浓度之间的关系 说明： (HF)2是HF酸溶液中的最主要活性成分，因为以氢键形式存在的H－F键比HF分子中的H－F键更脆弱，与SiO2反应时更容易断裂。 21 减薄清洗单元（后） DI浸泡 碱浸泡 酸浸泡 DI浸泡 a. 5-10% NaOH b. 45℃鼓泡 C. 10min a. 3% HCl b. 或常温 C. 1min a. DI水 b. 常温 C. 5min a. DI水 b. 常温 C. 5min 清洗 清洗 外观检查 Polishing 外观检查 Reject Item 自动研磨 手动研磨 Picture 适应产品 无破损产品 所有产品 可修复不良 不良率高发，严重不良 不良率较低的轻微不良 CAPA Q-panel抛光，效率高 针对单点不良修复，效率低 研磨 22 23 减薄工艺自身不良 1.不可擦拭脏污 2.薄化不匀 24 减薄工艺自身不良 玻璃本身含有杂质. 1. 除胶未干净，有残留 2. PT等未清洗干净 1. 设备故障（Conveyer） 2.瀑布流分叉（瀑布流蚀刻方式） 3.Nozzle堵塞（喷淋式蚀刻方式） 玻璃被蚀刻时局部蚀刻不一致 工艺设备 玻璃表面 玻璃本身 25 Slimming后划伤 Slimming前发生轻微Scratch Slimming后Scratch程度加重 Human eye invisible Slimming 26 Slimming后划伤 Lift Pin 凹点 27 Slimming后划伤 2.Robot吸盘凹点 28 Slimming后划伤 3.轮印 29 造成B-ITO不良 现象： ADS产品做完B-ITO后，产品与BOX接触的位置ITO被严重腐蚀 ，类似产品表面水干燥后残留的印记。 原因： BOX在Slimming车间长期周转，slimming车间内酸气长期在BOX表面附着，从而使BOX表面呈现酸性 1.水渍酸印 30 其它不良 1.电阻超标 原因： 酸残留 与减薄有关的性耐性 玻璃基板表面蚀刻状况确认 TFT端子部腐蚀状况的确认 牢固度确认 将其放入冷热交替的冷热槽中 对LCM进行显示检查和显微镜Glass外观检查 高温高湿的老化槽内进行的持续老化。 SEM对TFT端子部的表面和断面的观察分析 对LCM进行冲击和跌落。 对LCM进行显示检查和外观检查 31 End 32 谢谢！ * * LOGO 玻璃减薄 技术 材科112 贺文杰 201101524215 浮法减薄技术 TFT-LCD面板玻璃减薄工艺流程及不良简介 2 浮法减薄技术 3 浮法玻璃成型的定义? 1 浮法玻璃成型原理?? 2 玻璃液的拉薄? 3 影响成型质量的因素? 4 浮法玻璃成型的定义? 浮法玻璃成型的定义?? 浮法玻璃成型工艺过程为熔化、澄清、冷却的优质玻璃液在调节闸板的控制下经流道平稳连续地流入锡槽，在锡槽中漂浮在熔融锡液表面，在自身重力的作用下摊平、在表面张力作用下抛光、在主传动拉引力作用下向前漂浮，通过挡边轮控制玻璃带的中心偏移，在拉边机的作用下实现玻璃带的展薄或积厚并冷却、固型等过程，成为优于磨光玻璃的高质量的平板玻璃。 4 浮法玻璃成型原理 浮法玻璃成型原理?? 浮法玻璃的成型过程原理主要是描述玻璃液在锡液面上的摊开过程、平衡厚度、抛光时间、玻璃液的拉薄或增厚。 5 玻璃液的拉薄 玻璃液的拉薄????? 浮玻璃液在重力和表面张力平衡时，在锡液面上形成自然厚度约7mm?的玻璃带。拉引厚度小于自然厚度的玻璃时，必须对玻璃带施加一定的拉力。但是当增加拉引速度时，随着拉引力的增加，玻璃宽度和厚度就成比例地减小，因为在玻璃带被拉薄的同时，表面张力的作用使得玻璃带增厚或使带宽有所收缩，因此要使拉薄过程有效地、顺利地进行，必须选择适宜的温度范围、采用合理的工艺参数和拉薄措 6 玻璃液的拉薄 施。实践证明，温度范围883～769℃，有利于玻璃带的拉薄，同时，玻璃带在拉薄区内获得了展薄。为了得到并维持玻璃带在拉薄区内所获得的宽度，在拉薄区玻璃带的两边，可根据工艺要求安置若干个拉边机。 7 影响成型质量的因素? 影响成型质量的因素?浮法玻璃成型需要多方面的配合，任何一方面出现问题均会造成玻璃质量的下降，严重者可导致停产，其中影响成型质量的因素主要包括?锡槽温度制度、气氛制度、压力制度等项。 8 TFT-LCD面板 玻璃减薄 减薄的作用 1 减薄工艺简介 2 常见的减薄不良 3 9 减薄的作用 1.减少占有的