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第5章 电感式传感器 概述 第5章 电感式传感器 主要内容: 1.变磁阻式传感器——自感式 2.差动变压器式传感器——互感式 3.电涡流式传感器——电涡流式 5.1.1自感式传感器工作原理 5.1.1自感式传感器工作原理 (补充)变面积式自感式传感器 (补充)螺线管式自感式传感器 螺线管式自感传感器 5.1.2变气隙式传感器 5.1.2变气隙式传感器 注意: 输出特性非线性;为获得较高灵敏度,气隙的初始值 不宜过大。 为获得较好的线性关系,须限制测量范围,使衔铁位移在较小范围内变化, 一般取 变气隙式传感器适用于微小位移的测量,测量范围0.001~1mm 5.1.3差动变隙式自感传感器 5.1.3差动变隙式自感传感器 5.1.3差动变隙式自感传感器 5.1.3差动变隙式自感传感器 比较 若不考虑包括2次以上的高次项, △L与 成比例关系,因此高次项是非线性存在的原因。 差动式自感传感器的特性: 1.当气隙相对变化 时,高次项迅速减小,非线性得到改善。然而,测量范围变小。因此对线性的要求和对测量范围的要求相矛盾。这正是取 的原因。 2.当构成差动式电感传感器时,输出与△L1+△L2有关,它不存在偶次项,因此非线性得到明显改善。 5.1.4 测量电路 差动式自感传感器的线圈可以用复阻抗Z等效,常采用交流电桥、变压器电桥、谐振电路等测量。 1.交流电桥 将直流电桥的电阻R用阻抗Z代替,阻抗写成矢量形式,交流电桥平衡条件为 5.1.4 测量电路——1交流电桥式测量电路 5.1.4 测量电路——1交流电桥式测量电路 交流电桥式(半桥)测量电路灵敏度分析 灵敏度系数K0为 两点结论: (1)差动式变间隙电感传感器的灵敏度是单线圈式的两倍。 (2)差动式变间隙电感传感器的非线性项次数高,线性度得到明显改善。 5.1.4 测量电路——2变压器电桥式 5.1.4测量电路——3谐振式测量电路 相敏检波电路(补充) 相敏检波电路(补充) 5.2 互感式传感器 互感式传感器——把被测量变化转换为互感变化 差动变压器式传感器——次级绕组用差动形式 结构特点:1)根据变压器的基本原理制成的; 2)次级绕组用差动的形式连接,故称之为差动变压器式传感器。 结构:变隙式、变面积式、螺线管式(实际应用) 优点:测量精度高、灵敏度高、结构简单、性能可靠 差动式变压器式传感器 差动变压器式传感器特点 1.精度高(0.1um数量级,最高可达0.01um) 2.线性范围大(可达±100mm) 3.稳定性好、结构简单、使用方便 4.因包含机械结构,频率响应较低,不宜测量高频动态参量 广泛应用于直线位移,或能转换为位移变化的压力、重量等参数测量。 5.2.1 螺线管差动变压器工作原理 螺线管式差动变压器 5.2.1螺线管式差动变压器工作原理 螺线管式差动变压器基本特性 螺线管式差动变压器基本特性 零点残余电压 5.2.2 差动变压器式测量电路(补充) 传感器输出电压反映了位移的大小及方向,但因为交流信号,只有接入相应电路(相敏检波、差动整流等),才能提取这两种信息。 传感器输出存在一定的零点残余电压,即衔铁位于中间位置时输出不为零。因此,其后接电路应采用既能反映铁心位移大小及极性,又能补偿零点残余电压的差动直流输出电路。 差动变压器式测量电路(补充) 两个目的: 1.辨别移动方向 2.消除零点残余电压 两种方法: 1.差动整流电路 2.相敏检波电路 转换电路 能辨别移动方向 消除零点残余电压 (1)差动整流电路 (2)相敏检波电路 (3)直流差动变压器电路 (1)差动整流电路 差动整流电路(补充) 差动整流电路特点: 1) 结构简单 2) 无需进行相位调整 3) 无需考虑零点残余电压的影响 4) 分布电容影响小 5) 便于远传 (2)相敏检波电路(补充) (3)直流差动变压器电路(补充) 差动变压器式传感器(互感式) 应用举例 差动变压器式传感器(互感式) 应用举例 差动变压器式传感器(互感式) 应用举例 由法拉第电磁感应原理可知:一个块状金属导体置于变化的磁场中或在磁场中作用切割磁力线运动时,导体内部会产生一圈圈闭和的电流,这种电流叫电涡流,这种现象叫做电涡流效应。 根据电涡流效应制作的传感器称电涡流传感器; 电涡流传感器能够对被测量进行非接触测量; 形成电涡流必须具备两个条件: ① 存在交变磁场 ② 导电体处于交变磁场中 5.3 电涡流式传感器 2、电涡流式传感等效电路分析 5.3电涡流式传感器 涡流式电感传感器分
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