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第33卷增刊 中 国 激 光 V01．33，Suppl．
2006年3月 CHINESE 0FLASERS March，2006
JOURNAL
文章编号：0258—7025(2006)Supplement-0365—04
光束质量测试系统标定技术
田小强，周文超，彭 勇，解 平，胡晓阳
(中国工程物理研究院应用电子学研究所，四川绵阳621900)
摘要光束质量一直是表征激光束输出质量的重要参量，测量方法有很多种。目前对于较强的带遮拦光束采用光
束质量远场测试法。在光束传输效率领域内的应用中，使用光束质量卢因子来评判光束质量性能参量，并通过
CCD远场测试法测量得到。为了提高CCD远场法光束质量卢因子测量系统的测试精度，分析了系统中光学部件
和数据采集、处理部件的关键参量，针对不同的参量采用不同的标定方法分别对其进行标校。说明了实际使用的
标校方法、分析测试系统的测量不确定度来源，定量确定了测量不确定度的大小。标定技术的研究从理论上促进
了测量方法的进步，标校方法的应用有利于实际测试工作中测试结果准确度、可信度的提高。
关键词测量；光束质量口因子；CCD远场测试法；参量标定；不确定度
中图分类号TN247文献标识码A
Calibration of Beam Measurement
TechniqueLight Quality System
TIAN Wen—chao，PENG
Xiao—qiang，ZHOU Yong，XIEPing，HUXiao-yang
(Institute 621
ofAppliedElectronics，ChinaAcademyof Physics，Mianyang，Sichuan900。China)
Engineering
AbstractBeam is an tovaluethe oflaserbeam。andmethodsare
qualityalwaysimportantparameter OUtputquality many
laserbeamwithcenterobscuration，beamfarfieldmeasurementmethodisused
developed．Forhighintensity quality presently．The
beam usedto the ofthebeam inthe ofbeam
qualityfactor口is judgeperformanceparameters quality applicationtransportefficiency
field．anditisobminedCCDfarfieldmeasurement．Inordert0advancemeasurementoftheCCDfarfieldbeam
by precision quality
in elementsanddata and coursesare
factor口measurementsystem，thekeyparametersoptical collectingprocessing analyzed，and
differentcalibrationmethodsareuse
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