PET基纳米结构Ag薄膜结构及导电性能.PDF

第 28 卷 　第 2 期 纺 　织 　学 　报 Vol. 28 　No. 2 2007 年 2 月 Journal of Textile Research Feb. 　2007 ( ) 文章编号 2007 PET 基纳米结构 Ag 薄膜结构及导电性能 王鸿博 ,赵晓燕 ,洪剑寒 ,杜矗 ,金昭 (江南大学 生态纺织教育部重点实验室 ,江苏 无锡 　214122) 摘 　要 　在室温条件下 ,采用磁控溅射法在 PET 纺粘非织造布上制备了50 nm厚的纳米结构 Ag 薄膜 ,用原子力显 ( ) 微镜 AFM 分析溅射真空室压强对纳米结构 Ag 薄膜结晶状态、粒径的影响 ;研究了溅射工艺参数与薄膜导电性能 之间的关系。实验结果表明 :溅射速率随着压强的增大先增大后减小 ;薄膜方块电阻的变化规律和溅射速率的变 化规律一致 ;薄膜颗粒直径随着压强的增大先增大后减小 ,但在压强大于15 Pa时 ,薄膜颗粒直径随压强变化未呈 现明显的变化规律。 n 磁控溅射 ; 薄膜 ; 原子力显微镜 ; 纳米结构 ; 导电性能 关键词 　 中图分类号:TS174 　　　文献标识码 :A 　　　 c . Microstructure and conductivity of nanostructured m silver films deposited on PET fabric o WANG Hongbo ,ZHAO Xiaoyan ,HONGJianhan ,DU Chu ,J IN Zhao ( Key Laboratory of Science Technology of EcoTextile , Ministry of Education , c . Southern Yangtze University , Wuxi , Jiangsu 　214122 , China) Abstract 　Nanosized silver film of 50 nm thickness was deposited onto PET nonwoven fabric by magnetron m sputtering, and the effect of technical parameters , such as sputtering power , vacuum pressure , on the p morphology and particle diameters of the nanostructured silver thin film was analyzed by AFM. The relationship between sputtering par