表面粗糙度对薄膜面向热导率的影响研讨.pdfVIP

中国工程热物理学会 传热传质学 学术会议论文 编号：083413 表面粗糙度对薄膜面向热导率的影响研究 王帅创 梁新刚 北京清华大学航天航空学院 传热与能源利用北京市重点实验室 北京 100084 联系电话：010 Email: wsc00@mails.tsinghua.edu.cn 摘 要：通过求解声子辐射输运方程(EPRT)计算得到了纳米薄膜的面向晶格热导率。在薄膜界面采用 与声子波长相关的镜反射率模型，考虑了薄膜的厚度、温度等对其热导率的影响。结果表面，界面粗 糙度对薄膜热导率的影响很大。而减小界面粗糙度，会使得薄膜热导率大大增加。另外，薄膜厚度减 小使得热导率峰值对应的温度增加。 关键词：热导率 纳米薄膜 界面模型 EPRT 1. 引言 半导体制造技术的发展使得具有高密度芯片的集成电路得到了广泛应用。在集成电 路的导电区域之间往往用绝缘的电解质薄膜材料来填充。但由于温度决定着设备的性 能，所以必须把电功耗产生的热很好得传出去，这需要电解质薄膜有较高的热导率。因 此，对厚度为几十纳米到 100 微米的薄膜的热导率的研究成为十多年来的研究热点。 目前对薄膜热导率的研究，主要有三种方法，即理论研究、实验研究和分子动力学 模拟。实验研究结果已经出示了薄膜的热导率比其体材料的热导率值要低[1]。分子动 力学模拟结果也表明薄膜的热导率具有显著的尺寸效应[2]。在理论方面，和用来求解 体材料热导率的 Callaway 模型[3]和 Holland 模型[4]相类似，已建立许多不同的模型 来计算薄膜热导率[5,6]，而这些模型都是建立在 Boltzmann 输运方程（BTE）基础上的。 但是，在材料的特征尺寸（如薄膜的厚度、纳米线的直径等）比声子平均自由程小的情 况下，不存在局域热力学平衡或者无法建立温度梯度，此时大部分声子所经历的是弹道 输运而非扩散，故用 BTE 来描述是不适宜的。Majumdar[7]发现 BTE 和辐射传输方程有 很大的相似性，而且他还推导出了声子辐射传输方程（EPRT）。当材料的特征尺寸小于 声子平均自由程时，EPRT 可以描述声子的弹道输运，就像辐射传输方程描述光子传输一 样。当材料的特征尺寸远大于声子平均自由程时，EPRT 又可以描述声子扩散从而得到 Fourier 定律。 Chen 通过求解 EPRT，并且采用部分漫射部分镜射的界面模型，先后研究了超晶格 的面向和发向热导率[8,9]，得到的结果和实验结果符合的较好。Lu 也用同样的方法和 模型，计算得到了方型截面积的纳米线的热导率[10]。在上面的界面模型中，当任何一 个声子入射到界面上后，它都有 p概率发生镜射，（1-p）概率发生漫射。但是，实际情 况是，一个波长长的声子在界面上发生镜射的概率要比波长短的声子的镜射概率大。因 此，上面的部分漫射部分镜射的界面模型需要进一步改进。 资助项目：国家自然科学基金面上项目（No.） 本文在既有界面模型基础上，引入和声子频率相关的镜射概率，来研究纳米薄膜的 面向热导率，并讨论了薄膜厚度和温度对热导率的影响。 2. 计算模型 本文所要讨论的是纳米电介质薄膜的面向热导率。由于是电介质，所以电子对热导 率的贡献可以忽略，这里只考虑声子的晶格热导率。下面的图 1 是薄膜模型的示意图， 薄膜的厚度为 L，而在平面内的 x 方向和 z 方向其尺度均远大于声子平均自由程。所以， 薄膜可看成具有无限大的截面积，故而问题也可看成是一维问题。假设温度梯度施加于 x 方向。为简单起见，给出以下两个假设：温度在垂直于薄膜平面的法向（即 y 方向） 不变化，声子在界面上发生部分漫射和部分境射。 图1 薄膜模型示意图 在以上假设下，来源于 BTE的 EPRT 其极坐标形式如下式所示[8]，